随着科学研究与工业生产进入了纳米领域，人们对显微技术、显微仪器的要求越来越高，需求也日益增长。
光学显微镜价格便宜，操作简单，但由于可见光波长的限制，其放大倍数只能达到1000倍左右；传统大型扫描电子显微镜有效放大倍数可以达到数万倍，具有大景深，是当前材料科学、生物科学领域最常用的表征手段之一，但其投资巨大，而且需要经过严格培训的操作人员，使用不便。
为了解决这一矛盾，美国FEI公司在2004年提出了台式扫描电镜的概念。不同于传统大型扫描电镜，台式扫描电镜是一种全新的设计，其结合了光学显微镜与传统扫描电镜的优点。既保留的扫描电镜较高的放大倍数和大景深，同时体积小、操作简便，价格仅为传统电镜的几分之一，逼近高端光学显微镜的价格。