昨日上午,由广东省科技厅组织的国内首个量产型MOCVD设备科技成果鉴定会在佛山南海举行。该设备通过了来自清华大学、南京大学、中科院半导体所等机构11名业界专家的科技成果评审。
专家组组长、中科院院士郑有宜担该设备打破了此前MOCVD全部依靠进口的局面,LED产品价格有望大幅下降。LED产业是当前广东发展战略性新兴产业的三大突破口之一。LED产品价格一直居高不下的一个重要原因,就是LED芯片的生产设备MOCVD进口费用高昂导致。
“我们37片生产型MOCVD设备定价约为950万,比国外进口价格减少了一半。”作为项目研发合作团队专家,华中科技大学教授甘志银表示。据悉,该设备由广东昭信集团、昭信半导体装备公司及华中科技大学共同研发,目前已有4家外延厂家到昭信半导体公司进行试用。
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