发布时间:2021-10-25 10:40 原文链接: 扫描电镜分辨率

扫描电镜是高能电子散射固体材料,可获得许多特征信号!
微观成像是扫描电镜基本功能,要求高分辨,so可为其他特征信号分析提供精确导航!
sem一般标配se探测器,用se信号获得高分辨像,且se信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。
why
se
not
other?
比靠斯:在电子束样品作用区,可能只有se取样面积与电子束斑尺寸最接近,且对其尺寸敏感!
敏感到啥程度?
例如样品是黄金,se1的取样面积和束斑面积相同。
bse也是常用成像信号,但对于黄金样品,电子探针束斑直径1nm

2nm,其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近,大多情况,其分辨率和加速电压相关较多。
总结:提到扫描电镜分辨率,大概就是在说这台电镜的性能,用se成像分辨率是最为精确的表达,主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。