SF6 气体定量检漏仪原理为空气中含有的六氟化硫气体浓度变化时，该混合气体在高频电磁场的作用下其电离的程度也将不同制造的，通过检测电离度即可反映六氟化硫浓度。
仪器采用日本原装真空泵，探头与主机为分体式。具有体积小、重量轻、携带方便、灵敏度高、稳定性好、响应速度快、探头不会中毒、不产生有毒气体等特点。并有液晶显示气体浓度，使仪器读数更为方便准确。
本仪器新增了报警设定功能，当被测气体浓度大于或等于设定值时，即自行发出报警声。
本设备专用于于电力、铁道、电器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部门对充有六氟化硫设备、容器进行检漏，可以迅速、准确地定性和定量检测。
