环境扫描电子显微镜主要特点（以FEI Quanta为例）
1、FEI ESEM(环境扫描电镜)技术,可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。
2、所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。
3、先进的系统结构平台，全数字化系统。
4、可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。
5、可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的动态观察和分析。
环境扫描电子显微镜技术参数（以FEI Quanta 250/450/650为例）
1、分辨率:
二次电子:
高真空模式3.0nm 30kV,8nm 3kV
高真空减速模式7nm 3kV(可选项)
低真空模式3.0nm 30kV,10nm 3kV
环境真空模式3.0nm 30kV
背散射电子4.0nm 30kV
2、样品室压力最高达2600Pa
3、加速电压200V～30kV，连续调节
4、样品台移动范围
Quanta 250:X=Y=50mm
Quanta 450:X=Y=100mm
Quanta 650:X=Y=150mm
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9月5日，由中国科学仪器自主创新应用示范基地、中国仪器仪表学会科学仪器设备验证评价中心、中国仪器仪表学会分析仪器分会以及中关村国基条件科技资源共享服务创新联盟科研仪器维修维护专业委员组织，国仪量子（合......
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