电子能量损失谱（ Electron energy-loss spectroscopy, EELS）
入射电子穿透样品时，与样品发生非弹性相互作用，电子将损失一部分能量。如果对出射电子按其损失的能量进行统计计数，便得到电子的能量损失谱。由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内，适当地放置探头， EELS 的接受效率会很高， 相比 EDS分析， EELS 的记谱时间更短， 特别是用于小束斑分析薄样品时；另外， EDS 在探测轻元素（ Z＜11）时只有 1%的信号能接收到，且谱线重叠比较严重，而 EELS 的能量分辨率（ 1eV）远高于 EDS（ 130eV），因此， EELS 在探测轻元素方面更有优势；而且，除了对样品进行定性和定量的成分分析外， EELS 的精细结构还可提供元素的化学键态、最近邻原子配位等结构信息，这是其他电子显微分析方法所不能比拟的。