原理：ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体，它的进样部分及等离子体与ICP-OES的是及其相似的。ICP-OES测量的是光学光谱，ICP-MS测量的是离子质谱，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。
元素分析范围：3号锂(Li)-92号铀(U)
分析特点：可以分析绝大多数金属元素和部分非金属元素；精确度高，检出限可达ppb甚至ppt级别；每一种元素均有一种同位素的谱线，不受其他元素的谱线干扰，多元素测试时干扰少；可以进行多元素同时测定；洁净程度要求高，易被污染。
