三维光学轮廓仪

ContourGT-X

满足GR&R(重复性/再现性)，用于研发和生产的自动计量方案

ContourGT-X

ContourGT-X 三维光学轮廓仪提供高性能非接触表面测量，适用于实验室研究和生产过程控制。该测量系统融合了十代白光干涉（WLI）创新和设计，可在业界最大的视场范围内提供最高的垂直分辨率。该系统主要包括全自动化系统与生产界面，一个大型电动 XYZ 平台、扫描头的倾斜/俯仰以及一个集成气浮式防震台。ContourGT-X 专为满足最苛刻的研发、质量保证和工艺质量控制需求而设计，提供了具有计量能力的顶级三维光学精度和测试稳定性解决方案。

全面 自动化

最快、最简单的纳米级测量。

定制化 生产界面

提供简化的工作流程、自动定位和测量程序。

自校准 激光基准

确保最佳的生产计量、可重复性和测试稳定性。

特点

适于生产的设计和可靠性

ContourGT-X 融合了布鲁克专利倾斜/俯仰头、专利自校准激光基准系统、图案识别及其他多项专有的干涉创新技术，可提供极其精确的表面计量和量产所需的测试高效率。该系统的自动化配置可在几乎所有生产环境中实现快速优化，组件包括用于提升 X、Y、Z 晶圆定位精度的气垫桌稳定器套件，以及PDU、EMO 和真空系统，以兼容自动取放片拾取头的改进型真空吸盘。

高精度平台，实现超高分辨成像

ContourGT-X 高精度马达 XY 平台可在 X 方向和 Y 方向上进行 12 英寸的编码运动。该平台支持自动化路径设定，如多点数据采集，及拼接功能以实现大面积分析。0.5 微米编码器，提供可靠、可重复的自动化和样品定位。通过直观的操纵杆和软件界面控制，使操作人员轻松定位样品。

使用简便的表面测量和分析软件

布鲁克的 Vision64® 操作分析软件拥有业界功能最强、最简化的图形用户界面，将智能架构与直观可视化工作流程和广泛用户自定义自动化功能融合在一起，实现快速、全面的数据收集和分析。使用先进生产界面，ContourGT-X 几乎适用于所有生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义工作流程、自动定位和选取测量程序的工具。

ContourGT-X

Contour GT-X家族三维光学显微镜为实验室研究和生产工艺控制提供最佳性能的非接触式表面计量方案。X3和X8型号集十代白光干涉技术设计之大成，成为市场上三维光学轮廓仪在测量速度、分辨率、重复性、准确性等性能上最优和大批量生产中效率最佳的选择。

Contour GT-X的独特优势包括以下几点：

• 可快速方便定位的电动X、Y、Z平台和电动测量头部倾斜装置；

• 集成式防震台与特殊设计的基座提供优异的抗震性能；

• 业界率先推出基于64位的Vision64软件使用户更方便地分析各种应用数据，广泛应用于眼科材料，医疗器械，精密机械加工零件，太阳能电池，高亮度LED和半导体器件等的各种材料的表面测量。

此外，独特的双LED光源设计（专利）配合0.5x到230x的放大倍数保证了优异的测试质量。

• 激光自动校准（专利）保证了测量的准确性，重复性以及多台机机器同时使用时的一致性。

• Vision64的64位软件架构与多核处理器结合将测量复杂表面的测量分析速度提高了10倍。

• 通过数千张单幅扫描的数据的一次拼接可实现连续大面积高分辨的图片。

• AcuityXR 功能打破了光学分辨极限，可分辨出小于130nm的特征尺寸。

• Vision64软件的图形化界面进一步提升了用户的易用性，同时也为获得的更加广泛的数据提供了更有效地分析功能。

  
  

       用于工艺质量监控定标性测试系统ContourGT-X是实验室开发到批量生产均可适用的高性能仪器。它积累了前十代产品在白光干涉技术上的创新，实现了快速地三维表面测量，从纳米级粗糙度表面的测量到毫米级台阶的测量，垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的XYZ控制和扫描头自动控制，使得仪器操作简便易行。配备的Vision64软件，具有业界仪器测量和数据分析功能，而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了便利。

       ContourGT-X是当今业界先进的白光干涉仪，可用于眼科镜片、医疗器械、高亮度LED、半导体器件、TSV、太阳能电池片、汽车零部件、触摸屏和加工零件等各行业，为用户提供快速、准确地三维非接触式测量。内部激光自校准技术可以自动校准因环境或机械不稳定产生的漂移，无需标准块。大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业、科学研究、产品开发、质量控制及失效分析等领域业界先进的白光干涉仪

ContourGT-X配备倾斜调整支架、全自动X,Y, Z 样品台、自动视场目镜转换台，测试过程更快、更便捷。节省空间高稳定性的基座设计以及与机台集成一体式的防震系统，使系统具有防震性与稳定性。配备新的Vision64软件，具有业界仪器测量和数据分析功能，而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了便利。

仪器特性：

·  业界标杆，大视场下高的垂直分辨率

·  从0.5x到200x不同放大倍率实现不同面型和织构表面的表征

·  硬件的优化设计进一步的仪器抗噪声能力、系统灵活性和测量稳定性

·  激光自校准技术使得仪器间测量数据一致，保证测量的重复性和准确性

·  优异的缝合能力可以对上千个数据无缝拼接，实现样品大面积检测

·  多核处理器和64位软件使数据分析速度提高十倍以上