| 原子层沉积（ALD）设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学企业信息 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积（ALD）设备 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学企业信息拟采购原子层沉积（ALD）设备一台， 在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 高通量非靶向筛选质谱仪 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学企业信息 |
| 采购项目名称： | 高通量非靶向筛选质谱仪 |
| 预算金额： | 485.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100407 质谱仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学企业信息拟采购高通量非靶向筛选质谱仪器一台，主要用于环境毒害污染物筛查、合成生物学学、代谢组学、药物发现等研究。产品需要配置自动化固相萃取装置，自动进样装置和高分辨质谱仪；进样通量不高于1min/sample；兼容384孔进样板；质谱仪质量范围不低于2000amu；采样速度不低于30张谱图/秒；产品质保期3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
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