半导体设备真空与检漏
作者：申承志 中国电子科技集团公司第十三研究所 基于实际应用, 介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件, 讲述了He 质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验, 阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP 真空故障, 采用静压检漏法和He 质谱检漏仪检漏法, 给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化, 以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。结果表明, 先排除干扰因素, 再细心检漏, 可大大提高检漏效率, 使设备尽快恢复正常。引言 许多半导体设备要求高真空, 比如磁控溅射台、电子束蒸......阅读全文
半导体设备真空与检漏
作者：申承志 中国电子科技集团公司第十三研究所 基于实际应用, 介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件, 讲述了He 质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验, 阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP 真空故
真空设备检漏及探伤
中国电子科技集团公司第二研究所 作者：周社柱 随着技术的不断发展和更新，真空设备的种类和结构也越来越多样化，为确保生产的安全和高效性，结合设备的不同结构，对设备的检漏和探伤也提出不同的要求。分析传统的和最新的检测技
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备
真空检漏的一些辅助设备
1、充氦充氮氟油检漏平台 充氦充氮氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的专用设备，它与氦质谱检漏仪配套使用，完成GJBI128A-97国家标准和GJB548-96军用标准中，对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。此平台的工作过程是：（1）氦精检漏实验，将半导体零
真空氦质谱检漏原理与方法综述
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原
真空检漏的分类和意义
真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。 可以分为： 1）压力检漏法 ①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。 2）真空检漏法 ①高频火花检漏法，②真空计检漏法，
真空检漏的方法和步骤
从气密性检测仪行业了解到，真空检漏是考核机组气密性的重要手段，也是气密性检验的最终手段。 a、将机组通往大气的阀门全部关闭。 b、用真空泵将机组抽至50Pa绝对压力。 c、记录当时的大气压力B1、温度t1，以及U形管上的水银柱高度差所产生的压差pl。 d、保持24h后，再记录当时的大气压
利用氦质谱检漏仪进行真空系统检漏
0 引言 为了贯彻落实国家有关节能减排的政策，电力行业必须提高发电机组运行的经济性。汽轮机组必须建立高真空，使蒸汽能够最大限度地把热焓转变为汽轮机的动能。在具体的电厂生产环境下，要确保凝汽器内具有良好的真空，必须保证漏入汽轮机真空系统的空气要尽量少。汽轮机组汽封性能的优劣，低压真空部分漏点的
氦质谱检漏仪的真空压力法检漏
检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏：1. 示踪气体 A 放在容器里面，处于正压，然后用仪器去检测，容器周边是否有气体 A，如果容器外有气体 A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面，用仪器去
喷吹法氦质谱真空检漏方法与灵敏度
深圳威士达真空系统工程有限公司 氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法, 如图1 和图2 所示。 喷吹法氦质谱真空检漏 一个以一定速度移动的喷枪通过喷咀将具有一定压力的氦气(或混合气)
氦质谱检漏仪用于电厂检漏－—－真空冷凝器系统检漏应用
氦质谱检漏仪用于电厂检漏 — 真空冷凝器系统检漏应用一、真空冷凝器系统检漏原因Pfeiffer Smartest HLT 560 氦质谱检漏仪在电厂检漏领域被广泛使用，以往我们了解到的主要是针对电厂汽轮机内部系统或空冷凝器进行查漏。由于电厂系统设备庞大复杂，这里我们侧重选择汽轮机后段工序的空冷凝汽器
实验室检验检测设备检漏设备
检漏设备就是在不开挖的前提下,用来检测地下金属管道是否有破损的检测设备。这种设备大大提高了工作效率,为管道防腐检测提供了极大的方便。什么是检漏设备?作为国民经济五大运输部门之一的管道运输,近年来迅速发展,随着西气东输、俄气南供、陕京复线、忠武线、兰成渝成品油管线、西南成品油管线、甬沪宁成品油管线、翼
关于真空容器检漏方法的探讨
目前, 对于外压容器及真空容器, 通常以内压(液压或气压) 进行压力试验, 这类容器的主要失效形式是失稳, 考核指标是容器的刚度,压力试验的结果是对容器强度及致密性的验证。而外压及真空容器在内压试验时的受力情况与实际操作具有一定的差别, 实际操作时, 在外压作用下其材料和焊缝中可能存在的缺陷
关于真空容器检漏方法的探讨
上海卡莱不锈钢设备制造有限公司 作者：苏丽萍 目前, 对于外压容器及真空容器, 通常以内压(液压或气压) 进行压力试验, 这类容器的主要失效形式是失稳, 考核指标是容器的刚度,压力试验的结果是对容器强度及致密性的验
真空箱氦检漏的相关叙述
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。 工作原理 根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。 技术参
真空箱氦检漏有哪些特征
系统特征 1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全 2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、高精度。 3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。 4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。 5、ZL技术的
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自动真空箱氦检漏装置工作原理
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而
真空箱氦检漏基本功能
操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。 工艺流程 A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及
质谱仪质谱真空检漏、调谐的维护
质谱仪的调谐是为了得到好的质谱数据，在进行样品测试前要进行质谱真空检漏、调谐。在开关机、换灯丝之后要做调谐，如仪器一直处于开机状态，1-2周要做一次调谐。调谐完之后要重新做标准曲线。 检查水峰、氮峰，如果氮气m/z 28的峰高是水m/z 18峰高两倍以上，就有可能漏气。
真空行业应用都有哪些？
1、显示器制造业 随着显示器从 LCD 到 LED 到 OLED 过渡，准确测量和精密的控制是必需的要求。 正是基于这个原因，不断投资于的技术和功能，将薄膜控制器和 QCM 推向新的水平。 针对各种应用提供数百种石英晶体和传感器头，是面向显示器制造业提供薄膜控制器的市场领头羊。 还
半导体ATE设备类型
台式或一体化设备(通常带有GPIB或以太网控制) 基于VXI的卡式单元(需要计算机控制/接口和平台) 由PC驱动的便携式设备(通常带有以太网或USB控制) 独立的可编程单元(通常为台式) 自定义机架安装单元，可将各种自定义或购买的组件组合在一起，可能具有自定义接口和互连功能 此外，还有
真空浓缩设备
真空浓缩设备主要有以下几种： （1）降膜式浓缩设备：物料循环时间少，物料受热时间仅2min左右，故适合于热敏性物料的浓缩。其传热系数、能耗与升膜式相近。有时液膜形成不均匀，物料易焦化、结垢。 （2).双效升(降)膜式浓缩设备：该设备的结构及工作原理与单效膜式浓缩设备相似，主要是增加了一台热泵
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什么是半导体真空涂胶烘箱
1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自
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