原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（二）
原子层刻蚀有助于减少这些随机缺陷的影响。因为它在自限性步骤中逐层进行，而且因为工艺步骤将化学活性物质与高能离子相分离，因此原子层刻蚀不会产生传统的刻蚀工艺中出现的粗糙的镶边层。更重要的是，原子层刻蚀与原子层沉积的重复循环，能够降低EUV中随机缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有较高的表面体积比，这就导致在原子层刻蚀的过程中凸面被整平，而在原子层沉积的过程中凹面被填充。不仅随机缺陷非常小，而且在这一平整工艺过程中去除和沉积的层也非常薄，大约为半纳米。事实表明，这一工艺降低了CER并提高了小尺寸孔的CD均匀度。同样，它也降低了LER、改进了CDU，清除了细小的（小于10nm）线宽和距离中棘手的短路缺陷（图 4）。图 4． 左图 – 黄色轮廓线表示EUV光刻技术中随机变化引起的光刻胶中孔的局部不均匀。右图 – 原子层刻蚀与原子层沉积重复循环能够显著降低光刻胶线的粗糙度。（Imec测试结构）自对准接触孔刻蚀自对准接触孔 （SAC......阅读全文
原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（二）
原子层刻蚀有助于减少这些随机缺陷的影响。因为它在自限性步骤中逐层进行，而且因为工艺步骤将化学活性物质与高能离子相分离，因此原子层刻蚀不会产生传统的刻蚀工艺中出现的粗糙的镶边层。更重要的是，原子层刻蚀与原子层沉积的重复循环，能够降低EUV中随机缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有较高的表面体积比，这就
原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（一）
原子层刻蚀和沉积工艺利用自限性反应，提供原子级控制。泛林集团先进技术发展事业部公司副总裁潘阳博士分享了他对这个话题的看法。图 1． 原子层工艺中的所有半周期反应是自限性反应。技术节点的每次进步都要求对制造工艺变化进行更严格的控制。最先进的工艺现在可以达到仅7 nm的fin宽度，比30个硅原子
纳米级量子传感器实现高清成像
日本东京大学科学家最近利用六方氮化硼二维层中的硼空位，首次完成了在纳米级排列量子传感器的精细任务，从而能够检测磁场中的极小变化，实现了高分辨率磁场成像。氮化硼是一种含有氮和硼原子的薄晶体材料。氮化硼晶格中人工产生的自旋缺陷适合作为传感器。（a）六方氮化硼中的硼空位缺陷。空位充当用于磁场测量的原子大小
纳米级量子传感器实现高清成像
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/6/502959.shtm日本东京大学科学家最近利用六方氮化硼二维层中的硼空位，首次完成了在纳米级排列量子传感器的精细任务，从而能够检测磁场中的极小变化，实现了高分辨率磁场成像。氮化硼是一种含有氮和硼原子的薄晶
上海纳米级等离子工艺研讨会预告
上海纳米级等离子工艺研讨会预告 2012年3月19日 本次研讨会将于Semicon2012开幕的前一天召开，我们在此诚意邀请工业界、学术界对微纳米及发光二极管等离子技术的发展趋势及设备制造与应用感兴趣的同行先进参加。 牛津仪器的外方应用专家及国内知名机构的用户将出席并发言。 本
中国科大实现纳米级空间分辨电磁场量子传感
中国科学院院士、中国科学技术大学教授郭光灿团队在实用化量子传感的研究中取得新进展，该团队的孙方稳小组实验实现50纳米空间分辨力高精度多功能量子传感。该系列研究成果发表于应用物理期刊Physical Review Applied 。 微纳光电子技术已经成为当前信息领域的核心技术之一，同时也在能源
中国科大实现纳米级空间分辨电磁场量子传感
中国科大郭光灿院士团队在实用化量子传感的研究中取得重要进展，该团队的孙方稳小组实验实现50纳米空间分辨力高精度多功能量子传感。该系列研究成果发表在应用物理权威期刊《Physical Review Applied》上。 微纳光电子技术已经成为当前信息领域的核心技术之一，同时也在能源、环境、生物医
《自然》：美实现用纳米级电线搭建可用于计算的电路
一项最新研究说，美国研究人员实现采用纳米级电线搭建可用于计算的电路，通过这种技术得到的电路板具有节能等方面优势。 新一期英国《自然》杂志刊登研究报告说，目前生产电路板时，一般是先根据设计图做出模板，然后采取蚀刻等方式，像印刷图书一样在整块半导体芯片上印制出电路。而美国哈佛大学等机构研
低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究
采用俄歇电子能谱 ( AES)和傅里叶红外光谱 ( FTIR)分析低温 PECVD法形成纳米级 Si Ox Ny 介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系 ,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。研究结果表明 :该介质膜中氮、氧等元素均匀分布 ,界面处元素含量变化激烈 ;高、低反应气压变化对膜内
二级结构预测的
中文名称二级结构预测英文名称secondary structure prediction定 义预测大分子(核酸、蛋白质)可能具有的二级结构。现在已有多种计算机软件可以进行这类预测，如nnPREDICT、ZPRED Server等。应用学科生物化学与分子生物学（一级学科），方法与技术（二级学科）
蛋白质的二级结构与超二级结构结构的组装块
一、蛋白质的二级结构 蛋白质在细胞中必须通过详细的三维结构识别成千上万种的不同分子，这就需要蛋白质分子具有结构多样性。蛋白质结构研究得出的第一个重要的基本规律是水溶性球状蛋白质分子折叠的重要驱动力，它是将疏水侧链置于分子内部，产生一个"疏水内核"和一个亲水表面。为了把侧链放到分子内部去，相应的高度
高鸿钧团队利用STM实现石墨烯纳米结构原子级的可控折叠
探索新型低维碳纳米材料及其新奇物性一直是当今科技领域的前沿科学问题之一。二维的石墨烯晶格结构被认为是其他众多的碳纳米结构的母体材料。例如，将石墨烯结构沿着某一方向卷曲可以形成一维的碳纳米管，将具有五元环和七元环石墨烯结构弯曲成球型结构即可形成富勒烯。石墨烯在未来纳米学器件的应用，需要构筑具有三维
【技术解析】GPU如何实现三维渲染及非图形计算？（二）
视图（Viewport，或者视口）变换 现在的实时渲染场景中包含的对象（模型）可以有很多个，但是只有被摄像机（或者说观察者，也即是设定的视角覆盖）的区域才会被渲染。这个摄像机在世界空间里有一个用来摆放的位置和面向的方向。 为了实现接下来的投影、裁剪处理，摄像机和模型都需要进行视图
纳米级光学结构揭示2亿年前昆虫的真实颜色
通常化石只能保存生物的结构，对其颜色几乎都是靠想象。然而，来自中、德和英三国的科学家们通过对昆虫化石中结构色的研究，却揭示了2亿年前昆虫的“真实颜色”。该研究成果将于4月12日在线发表于美国《科学》（Science）杂志子刊《科学进展》（Science Advances）。侏罗纪蛾类（A-I）和
热扫描探针光刻技术消除二维半导体材料
二维半导体材料，比如二硫化钼（MoS2），表现出了诸多新奇的特性，从而使其具有应用于新型电子器件领域的潜力。目前，研究人员常用电子束光刻的方法，在此类仅若干原子层厚的材料表面定域制备图形化电极，从而研究其电学特性。然而，采用此类方法常遇到的问题之一是二维半导体材料与金属电极之间为非欧姆接触，且
纳米级孔径透析袋介绍
根据美国spectrumlabs公司的测试数据表（下图） （图一）1nm-70nm目前透析袋相关厂家能提供几十款不能截留分子量的透析袋例如spectrumlabs的截留分子量（MWCO）100-500道尔顿
DNA的二级结构介绍
DNA的二级结构是指两条多核苷酸链反向平行盘绕所生成的双螺旋结构。两条多核苷酸链以相同的旋转绕同一个公共轴形成右手双螺旋，螺旋的直径2.0nm；两条多核苷酸链是反向平行的，一条5’-3方向，另一条3’-5’方向；两条多核苷酸链的糖-磷酸骨架位于双螺旋外侧，碱基平面位于链的内侧；相邻碱基对之间的轴向距
tRNA二级结构特点
tRNA的二级结构为三叶草结构，其结构特征为： (1)tRNA的二级结构由四臂、四环组成，已配对的片断称为臂，未配对的片断称为环。 (2)叶柄是氨基酸臂，其上含有CCA-OH3’，此结构是接受氨基酸的位置。 (3)氨基酸臂对面是反密码子环，在它的中部含有三个相邻碱基组成的反密码子，可与mRNA
结合盘式光学谐振器与PTIR技术，AFM实现纳米级精确测量
大多数测量仪器都受制于测量精度和测量速度之间的权衡，因为测量越精确，所需的时间就越长。可是，纳米尺度上出现的许多现象既快又小，因此，针对它们的测量系统必须能够在时间和空间上捕捉到它们的精确细节。上图为与光学谐振器集成的纳米级原子力显微镜(AFM)探针的彩色电子显微照片，这种盘式光学谐振器扩展了A
“DNA折叠术”正迅速走向应用－制造纳米级的结构和机器
科学家设想的通过编程，让形状互补DNA零件自行组装成纳米机器。 最近，德国慕尼黑工业大学创造出了一些新型纳米设备：一个会动手臂的机器人，一本能打开、合上的书，一个能开关的齿轮传动装置，还有一个促动器——或许这些已经很吸引人了，但还不是重点。重要的是这些设备体现了科学上的突破——把DNA作为一种可编
我国科学家首次获得纳米级光雕刻三维结构
14日夜，国际顶级学术期刊《自然》发表了我国科学家在下一代光电芯片制造领域的重大突破。南京大学张勇、肖敏、祝世宁领衔的科研团队，发明了一种新型“非互易飞秒激光极化铁电畴”技术，将飞秒脉冲激光聚焦于材料“铌酸锂”的晶体内部，通过控制激光移动的方向，在晶体内部形成有效电场，实现三维结构的直写和擦除。这一
美开发出超快纳米级发光二极管
据美国物理学家组织网11月16日（北京时间）报道，斯坦福大学工程学院的研究团队研发出一种超快的纳米级发光二极管（LED），能够以每秒100亿比特的速度传输数据，并比当前以激光为基础的系统装置能耗更低。研究人员表示，这是为芯片上的计算机数据传输提供超快、低能耗光源的重要步骤。相关研究报告发表在15
纳米级砂磨机必须具备的条件
1、零污染条件 基于砂磨机的分散机理，当微珠在撞击和摩擦固体颗粒的同时对粉碎腔体及腔体内的搅拌装置的磨损破坏强度也是很大的，所以要保证腔体及搅拌组件的材料必须有超高的耐磨耗性能；否则因其磨损而污染了原料，不仅造成设备使用寿命很短，更重要的是该污染源造成所分散的原料再次团聚从而无法达到纳米级
纳米级砂磨机必须具备的条件
1、零污染条件基于砂磨机的分散机理，当微珠在撞击和摩擦固体颗粒的同时对粉碎腔体及腔体内的搅拌装置的磨损破坏强度也是很大的，所以要保证腔体及搅拌组件的材料必须有超高的耐磨耗性能；否则因其磨损而污染了原料，不仅造成设备使用寿命很短，更重要的是该污染源造成所分散的原料再次团聚从而无法达到纳米级细度及正态分
纳米级磁共振成像仪“出世”
美国IBMIBM公司研究中心和斯坦福大学纳米探索中心的科学家们共同开发出一种磁共振成像仪(MRI)，其分辨率要比常规MRI高出1亿倍。发表在《美国国家科学院院报》的这项研究成果，标志着为在纳米级研究复杂3D结构提供分子生物学和纳米技术工具方面迈出了重大一步。 通过将MRI的分辨率扩展到如此
什么是DNA的二级结构？
DNA的二级结构是指两条多核苷酸链反向平行盘绕所生成的双螺旋结构。通常情况下，DNA的二级结构分两大类：一类是右手螺旋，如A-DNA和B-DNA，DNA通常是以右手螺旋形式存在的；另一类是左手螺旋，即Z-DNA。
简述转移核糖核酸的一级结构和二级结构
一级结构 自1965年R．W．霍利等首次测出酵母丙氨酸tRNA的一级结构即核苷酸排列顺序到1983年已有200多个tRNA（包括不同生物来源、不同器官、细胞器的同功受体tRNA以及校正tRNA）的一级结构被阐明。按照A－U、G－C以及G－U碱基配对原则,除个别例外, 二级结构 tRNA分子
DNA二级结构构型种类
①B型DNA（右手双螺旋DNA），是“经典”的Watson-Crick结构，二级结构相对稳定，水溶液和细胞内天然DNA大多为B型DNA；②A型DNA（右手双螺旋DNA），是一般B型DNA的重要变构形式，其分子形状与RNA的双链区和DNA/RNA杂交分子很相近；③Z型DNA（左手双螺旋DNA），也是B
DNA二级结构构型分类
①B型DNA（右手双螺旋DNA），是“经典”的Watson-Crick结构，二级结构相对稳定，水溶液和细胞内天然DNA大多为B型DNA；②A型DNA（右手双螺旋DNA），是一般B型DNA的重要变构形式，其分子形状与RNA的双链区和DNA/RNA杂交分子很相近；③Z型DNA（左手双螺旋DNA），也是B
我国科学家实现原子级石墨烯可控折叠
探索新型低维碳纳米材料及其新奇物性是世界前沿的科学问题之一。二维的石墨烯晶格结构被认为是其他众多碳纳米结构的母体材料，受局域空位、增原子、边界等缺陷结构的影响，在单原子层次上精准构筑和调控基于石墨烯的低维碳纳米结构仍存在巨大挑战。 最近，北京凝聚态物理国家研究中心高鸿钧研究团队首次实现了原子级