扫描电镜“弱视”,工业制造难以明察秋毫

对材料微观结构的观测离不开“微观相机”——扫描电子显微镜,一种高端的电子光学仪器,它被广泛地应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业部门。 “比如,在材料科学领域,它是非常基础的科研仪器,毫不夸张地说,材料领域70%—80%的文章都要用到扫描电镜提供的信息。”中国科学院上海硅酸盐所研究员、中国电子显微镜学会扫描电镜专业委员会副主任曾毅告诉科技日报记者。但是,目前我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口,每年我国花费超过1亿美元采购的几百台扫描电镜中,主要产自美、日、德和捷克等国。国产扫描电镜只占约5%—10%。高质量电子光学系统生产困难 曾毅说,扫描电镜的图像分辨率与电子束的直径密切相关,电子束汇聚越细,图像分辨率就越高。 扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用汇聚得很细小的电子束在样品表面扫描,通过电子束与样品的相互作用产生各种信号(如二次电子信号)来获得......阅读全文

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜的电子束不穿过样品,仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方,然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子,放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子,通过放大后调制显像管的电子束强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度。图像为立体形象,反映了

扫描电子显微镜的扫描原理介绍

  在扫描电镜中, 入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就保证了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步, 保证了样品上的“物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应, 称其为“同步扫描”。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应

扫描电子显微镜用途

最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可

扫描电子显微镜功能

1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)  2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析  1)用x射线能谱仪或波谱(EDSorWDS)采集特征x射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素

扫描电子显微镜功能

   1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)  2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析  1)用x射线能谱仪或波谱(EDSorWDS)采集特征x射线信号,生成与样品形貌相对应的

扫描电子显微镜检查

   当一束高能电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生工次电子、俄歇电子、背散射G2100-1X1SF1电子、透射电子和特征X射线,以及在可见、紫外、红外区域产生的电磁辐射。利用高能电子和物质的+H△作用,能够获取被测样罚|本身的各种物埋、化学性质的信启、。扪描电子显微镜1E是根据高能电子和物质相互

扫描电子显微镜用途

扫描电子显微镜最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它

徕卡扫描电子显微镜

徕卡显微镜扫描透射电子显傲镜通常指透射电镜中有扫描附件,尤其是有了高亮度的场发射电子枪,束斑缩小了,分辨串接近透射电镜的相应值时,便显出了这类型电镜的许多优点。首先是不经电磁透镜成像,因而不受像差影响。徕卡显微镜电子经过较厚的样品引起的能量损失不会形成色差而影响分辨率,所以可观察较厚的标本。徕卡显微

扫描电子显微镜原理

1.扫描电子显微镜原理--简介  扫描电子显微镜,英文名称为SEM,是scanningelectronmicroscope的简写。扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。  2.

冷冻扫描电子显微镜

冷冻扫描电子显微镜扫描电镜工作者都面临着一个不能回避的事实,就是所有生命科学以及许多材料科学的样品都含有液体成分。很多动植物组织的含水量达到98%,这是扫描电镜工作者最难对付的样品问题。   冷冻扫描电镜(Cryo-SEM)技术是克服样品含水问题的一个快速、可靠和有效的方法。这种技术还被广泛地用于观

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

扫描电子显微镜基本结构

1-镜筒;2-样品室;3-EDS探测器;4-监控器;5-EBSD探测器;6-计算机主机;7-开机/待机/关机按钮;8-底座;9-WDS探测器。

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

扫描电子显微镜的简介

  扫描电子显微镜 (scanning electron microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 [3] 。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

场发射扫描电子显微镜

  场发射扫描电子显微镜(FESEM)是电子显微镜的一种。  该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理,在镀膜或不镀膜的基础上,低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等,获得忠实原貌的立体感极强的

什么是扫描电子显微镜?

  扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到

台式扫描电子显微镜概述

  台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是由美国FEI公司(1997年原FEI和飞利浦电子光学合并而成)提出的,并于2006年正式发布了旗下的Phenom飞纳台式扫描电镜,而后于2009年成立Phenom-Wo

扫描电子显微镜工作原理

扫描电子显微镜透射电镜原理  目前,主流的透射电镜镜筒是电子枪室和由6~8 级成像透镜以及观察室等组成。阴极灯丝在灯丝加热电流作用下发射电子束,该电子束在阳极加速高压的加速下向下高速运动,经过*聚光镜和第二聚光镜的会聚作用使电子束聚焦在样品上,透过样品的电子束再经过物镜、*中间镜、第二中间镜和投影镜

扫描电子显微镜的类型

  扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子枪种类可分为三种:场发射电子枪、钨丝枪和六硼化镧 [5] 。其中, 场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高, 束流不稳定, 发射体使用

扫描电子显微镜工作原理

扫描电子显微镜透射电镜原理  目前,主流的透射电镜镜筒是电子枪室和由6~8 级成像透镜以及观察室等组成。阴极灯丝在灯丝加热电流作用下发射电子束,该电子束在阳极加速高压的加速下向下高速运动,经过*聚光镜和第二聚光镜的会聚作用使电子束聚焦在样品上,透过样品的电子束再经过物镜、*中间镜、第二中间镜和投影镜

扫描电子显微镜的特点

  扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀, 但由于其本身具有许多独特的优点, 发展速度是很快的。 [7]  1 仪器分辨率较高, 通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节, 采用LaB6电子枪, 可以进一步提高到3nm。 [7]  2 仪器放大倍数变化范围大, 且能连续可调。因此可以根据需要选

环境扫描电子显微镜简介

  环境扫描电子显微镜,是指扫描电子显微镜的一个重要分支,环境扫描电子显微镜除了像普通扫描电镜的样品室和镜筒内设为高真空,检验导电导热或经导电处理的干燥固体样品以外,还可以作为低真空扫描电镜直接检测非导电导热样品,无需进行处理,但是低真空状态下只能获得背散射电子像。环境扫描电镜样品室内的气压可大于水

环境扫描电子显微镜用途

1、样品不需喷C或Au,可在自然状态下观察图像和元素分析。  2、可分析生物、非导电样品(背散射和二次电子像)。  3、可分析液体样品。  4、±20℃内的固液相变过程观察。  5、分析结果可拍照、视频打印和直接存盘(全数字化)。

扫描电子显微镜入门知识

 1. 光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率zui高只有约 1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。  2. 根据de Broglie波动理论,电子的波长仅与加速电压有关:  λe=h / m

扫描电子显微镜发展简史

1932年,Knoll 提出了SEM可成像放大的概念,并在1935年制成了极其原始的模型。1938年,德国的阿登纳制成了第一台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。由于不能获得高分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展,只能在电子探针X射线微分析仪中作为一种辅助的成像装置。此后,在许多科学家的努力下

扫描电子显微镜的优点

和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜

扫描电子显微镜机构组成

扫描电子显微镜机构组成  扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。  以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替  真空系统  真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。  真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加

扫描电子显微镜的优点

和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜