发布时间:2018-07-31 15:45 原文链接: AFM微影操控术

微影操控术(Nanolithography and Nanoma nipulation)Lithography


(微影) 及ma nipulation (操控术)是目前相当热门的研究题目。多年以来Lithography 应用力量及电流方式,已可在材料表面刻出或长出不同尺寸纳米图案。目前研究上是针对(1)如何划出100nm 级图案,10nm 级线宽(2)图案稳定性及操控性等工程议题。此两议题在设备上,目前可以使用封闭式回路控制扫瞄器(Close loopscanner)解决。Lithography 的要求均必需达到及时性,表示AFM 扫瞄时,欲将某物从a移动至b 时,可在移动后马上扫瞄,期间探针无需重新下探针动作,及时性就非常重要。目前挑战的题目如纳米级定位修补,表面重组,生化上强制接种加速实验。1990年,IBM 公司的科学家展示了一项令世人瞠目结舌的成果,他们在金属镍表面用35 个惰性气体氙原子组成“IBM”三个英文字母如图1-10。科学家在试验中发现STM 的探针不仅能得到原子图象,而且可以将原子在一个位置吸住,再搬运到另一个地方放下。这可真是个了不起的发现,因为这意味着人类从此可以对原子进行操纵。


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