“ICPMS”和“ICPOES”的在用途和工作原理上有区别。
1.两者用途不一样 。ICP-MS：测量的是离子质谱，ICP-OES是用来分析元素的发射光谱仪。
2. 两者工作的原理不同。 ICP-OES：电感耦和等离子体光学发射光谱，原子光谱属于价电子能级跃迁，范围主要覆盖真空紫外到亚近红外，这个范围内的光信号可以用光学部件，如透镜、反射镜处理，故称光学光谱。
与光学光谱相对的是X射线光谱 ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体，ICP-AES和ICP-MS的进样部分及等离子体是极其相似的。提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。