“ICPMS”和“ICPOES”的在用途和工作原理上有区别。
1.两者用途不一样 。ICP-MS：测量的是离子质谱，ICP-OES是用来分析元素的发射光谱仪。
2. 两者工作的原理不同。 ICP-OES：电感耦和等离子体光学发射光谱，原子光谱属于价电子能级跃迁，范围主要覆盖真空紫外到亚近红外，这个范围内的光信号可以用光学部件，如透镜、反射镜处理，故称光学光谱。
与光学光谱相对的是X射线光谱 ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体，ICP-AES和ICP-MS的进样部分及等离子体是极其相似的。提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。
ICPMS的基本原理和ICPMS起源：
ICP-MS仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双聚焦扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。
ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以将ICP的高温（8000K）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的最强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。
