XRF测试作为常用测试之一，但仍有许多同学不太了解其具体内容，本篇文章详细给大家介绍XRF与ICP比较的差异。
| ICP | XRF | 说 明 | 说明 |
| 1. 分析方式及样品形态 | 化学分析法：利用电浆激发液体样品， 产生放射光谱。 | 物理分析法：利用 X射线激发样品产生 X-Ray能谱。 | 1.ICP 样品必须为液态，为破坏式检测。2.XRF样品为固态、 液态或粉末皆可， 且为非破坏式检测方式。 |
| 2. 检测浓度范围 | ppm～100%，约 70 种元素。 | ppm～100%，约 70 种元素。 | 1.ICP 之元素检测下限较低 ( 灵敏度高 ) ，无法量测卤素，如氯 (Cl) 、溴(Br) 。2. XRF之元素检测下限较高 (灵敏度低 )，可量测卤素 , 例如 RoHS中管制的 PBB、PBDE( 即溴的化合物 ) |
| 3. 样品分析时间 | 液体样品约 2 分钟。( 包含前处理时间 ) | 固、液、粉末，约为 5～10 分钟，无需前处理。 | 1.ICP 需要前处理步骤将固体样品经由强酸高温长时间 (2～12 小时 ) 或高压等消化步骤，变成液体样品。2.XRF样品可直接量测，无需前处理。 |
| 4. 二次污染处理 | (1) 需处理 ICP 的废气(2) 需处理前处理所产生的酸气(3) 需处理前处理所产生的强酸废液 | 无二次污染处理∶X 光源辐射量极低，仪器本身有安全屏蔽，操作时无须任何特殊装置。 | 1.ICP 分析方法，会产生环境二次污染，为破坏式分析。2.XRF 分析方法，上会产生环境二次污染，符合 ISO 14000 之精神，为非破坏式分析。 |
| 5. 人员要求 | 需专业化学师，人员训练，专业性较高，训练时间较长。同时因前处理有使用到强酸及高温处理，因此实验室需配置安全防护装置，且需符合劳工安全及环境废弃物处理之规范与相关费用之产生。 | 台湾地区操作者需至辐射防护协会受 18 小时讲习训练方可操作设备；在大陆地区则无此要求。 | 1.ICP 在设立化学实验室时， 原则上是需要有紧急安全计画，提报劳委会。2.XRF之 X光源的能量低 ( 属微量 X光) ，列为登记类设备，只须至原委会登记，领有登记证後即可使用。 |
| 6. 仪器操作性 | 一般 ICP 在操作时，较易发生误判，需专业技术人员协助，尤以在定量时，元素波数判定上易产生误判。 | 有特殊的软硬体，将侦测下限，再现性做更准精的量测，如∶镉有标准品，可直接量测，侦测下限可达 1.7ppm。 | ICP/ XRF 皆锁定 QA/QC市场，而软体操作，全部中文化 ( 繁/ 简) 。 |
| 7. 在分析塑料和重金属分析的特性 | (1) 为一般规范指定的分析仪器之一。(2) 灵敏度高(3) 须有专业的化学分析技术。(4) 有环境二次污染物，须再处理。(5) 耗材费较高。(6) 分析时间较短，但若加上前处理时间，每个样品将超过数十分钟。 | (1) 为 Panasonic、Dell 、Microsoft 、Mitsubish 、SONY等大厂作为内部品质控管之设备。(2) 低浓度时灵敏度较低。 (Cd 的侦测下限小於1.7ppm)(3) 耗材费用低， 受辐射防护协会训练 18 小时即可操作此仪器设备。(5) 无环境二次污染, 符合 ISO 14000之精神每个样品分析时间约5～10 分钟。(6) 无须另设其他周边设备。(7) 建议作为进料检验及品管之用(8) 建议作为出货常态分析之用 | 就分析仪器特性及国际规范要求， ICP 是目前最能被接受的分析仪器，但一般大厂仍只接受第三公证单位的报告。XRF已成为进料品管及制程中品质控制必备之塑料重金属快速检测 |
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