主要是指测试的精确度，一般来说XRF的测试精度比较低，一般测试结果做得比较理想的情况都有10%以上的误差，同时看在应用在哪些方面的测试，测什么基材的什么元素，本底的影响等。
一般是定性分析，现在XRF应用在ROHS比较多，它主要来进行定性分析，看看是否达到ROHS标准要求。当然如果要求不高的百分比的含量测量是可以达到精度要求的，是可以定性的，同时可以多用标样来提高它的测试精确度。
基本介绍
现代X射线荧光光谱分析仪由以下几部分组成：X射线发生器（X射线管、高压电源及稳定稳流装置）、分光检测系统（分析晶体、准直器与检测器）、记数记录系统（脉冲辐射分析器、定标计、计时器、积分器、记录器）。不同元素具有波长不同的特征X射线谱，而各谱线的荧光强度又与元素的浓度呈一定关系，测定待测元素特征X射线谱线的波长和强度就可以进行定性和定量分析。
