芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁优秀新产品二等奖

芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁省优秀新产品二等奖

　　近日，经第八届辽宁省优秀新产品奖评审委员会审查，省政府批准，中科院沈阳自动化研究所持股公司芯源公司申报的“集束型匀胶显影设备”被授予辽宁省优秀新产品二等奖。在本届辽宁省新产品评选中，共有31项产品获得一等奖，二等奖59项。评选省级优秀新产品奖旨在鼓励和支持企业研制开发技术含量高、附加值高的新产品，掌握具有自主知识产权的新技术，推进企业技术进步，加速全省产品结构优化和产业升级。

　　沈阳自动化所持股公司—芯源公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造关键设备之一，其作用是在晶圆上涂敷光刻胶，与光刻机配合，曝光后显影，保证掩膜版图形的正确转印。在芯源公司创建之前，国内的匀胶显影设备处于6英寸0.5微米技术等级。芯源公司通过引进消化与集成创新，拥有了完全自主知识产权的整机技术，研制的8英寸匀胶显影设备可满足0.25，0.18，0.13微米集成电路制造工艺，填补了国内空白，整机技术水平达到国际先进。

　　2005年，芯源公司成为国内首家将国产设备推入集成电路8英寸主流生产线，摆脱了我国集成电路制造设备依赖进口的状况。2007年公司研制的 12英寸先进封装涂胶设备，取得国产集成电路装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。几年来，企业和产品在同行业形成了品牌影响。目前，适应更高技术等级的12英寸匀胶、显影、刻蚀设备，作为国家科技02专项攻关产品已完成样机研发，进入大线考核验证，其中匀胶、显影设备已进入应用采购。

　　芯源公司产品是辽沈地区发展IC装备产业链的整机设备代表，对带动本地区相关产品的技术提升与发展，促进本地区IC装备及零部件产业的建立与发展，改造传统产业结构将起到积极的推动作用。