ICPMS的常见故障与诊断方法

　　故阵现象之一

　　点火过程中，屏蔽罩(SHIED TORCH)可顺利到达点火线圈内的设定位置，相应的状态指示灯可点亮，但不能正常退回起始位置，因此导致点火失败。

　　检修方法

　　首先用手轻推、反拉固定屏蔽罩的支板，看屏蔽罩能否活动，判断是不是因炬管安装位置不居中导致屏蔽罩被点火线圈卡住，根据需要调整炬管位置。若故障仍存在，手动慢速调节移动控制系统中进气阀及排气阀的流量，使屏蔽罩在接通、断开电磁阀Y5(控制屏蔽罩的气路)时能以正常速度进出，并反复点击所用软件(PLASMALAB)中“control”界面下“plasma screen”按钮，看屏蔽罩能否退出，同时观看PLC控制器上的Y25对应指示灯的工作情况，正常情况下，当屏蔽罩被推进点火线圈内时，Y25灯点亮，屏蔽罩退回起始位置后，Y25灯熄灭。若反复点击“plasma screen”按钮，Y25灯及屏蔽罩均无反应，进而查看PCB I/F1上PL8插座处的联接情况，保证可靠接触，再次执行上步操作，若Y25灯及屏蔽罩能正常作出响应，确认故障点在PL8插座处。通过上述方法试检，仪器一般可修复正常。

　　故降现象之二

　　仪器的输出结果稳定性极差，位于后面板处的PID温度调节仪显示值上跳不恒定。

　　检修方法

　　关断仪器电源，打开右上封盖，卸下炬箱的前面板，可看到起冷却、恒温雾化器作用的半导体部件，位于雾化器后部的一个深灰色传感器(前端为白色)插在半导体部件的插孔中，二者间隙充满了导热硅脂。仪器经过长期使用后，导热硅脂的传热性及密封性能下降。半导体的位置紧贴工作温度较高的炬箱，因此，当导热硅脂性能下降时，温度传感器不能及时跟踪反映半导体的温度变化，且极易受周围环境的热影响，导致测量值不稳定，闭环控温系统的PID温度调节仪出现上跳不恒定的故障提示现象。

　　更换导热硅脂的步骤和注意事项如下:先用酒精将原用导热硅脂彻底清理干净并凉干；用新导热硅脂填满传感器的插孔，小心将传感器安装到位，并仔细检查所在温控系统中转接插座的可靠状况。开启仪器，观察温控系统工作情况，一般可恢复正常。

　　故障现象之三

　　仪器点不着火或者点火时而正常时而失败。

　　检修方法

　　故障原因可从下述三方面查找:

　　气路故障:首先确认所用氢气指标是否满足使用要求，如氢气纯度不够，将导致点火困难且仪器的稳定性不好；接着检查气路通道的密闭性，常用肥皂水重点检查各接头处及电磁阀本身.

　　循环水系统故障:检查循环水机内的水量，保证该指标在允许范围之内，检查循环水机上压力表的示值，根据需要调整在适用的指标上；检查水路中是否有气泡存在，如发现有气泡，应将其排空。

　　电子电路故障:首先检查套接在炬管上的点火头是否安装到位。正常情况下，点火过程中应有放电火花产生，此高能火花结合三匝祸合线圈形成的高频电磁场电离氢气形成等离子体。如果点火头未按要求安装到位，直接造成点火困难或根本点不着火；在点火过程中，点火瞬间留心观察Instrument界面下Reflect Power(反射功率)值，正常情况为200瓦~400瓦，否则说明RF发生器输出不正常；点火前，观察自动调协电容的数值(注:位于炬箱的右侧，借助一面镜子便于观察)，初始值应在500^510间，否则应手动调整其旁边一旋钮，使电容示值回到500左右。

　　故阵现象之四

　　点着火后，不久又自动熄灭。

　　检修方法

　　首先检查仪器所用的抽风系统风量是否满足需求，若风量较小，高能等离子体产生的辐射热不能有效交换，炬箱周围温度升高到一定程度，仪器会出现保护性熄火现象.这时应及时检修通风系统；查看水循环是否正常，若水流量不足，导致三匝线圈或半导体冷却不充分，相应的温度检测控制单元将及时向仪器的主控器发出请求，中止RF发生器工作，仪器自动熄火。另外，当RF发生器内两个冷却电扇的保险丝接触不良或熔断时，对应电扇不能启动，RF发生器工作一段时间便发热严重，仪器出现保护性熄火现象。这种情况应请电器工程师检修。