近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法，实现了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%，镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1nmRMS，相关指标达到国际先进水平。相关结果在线发表于近期的Optics Letters（dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958）上。
极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。极紫外光刻系统需要高性能的极紫外多层膜，包括高反射率，低应力，高稳定性和高均匀性。对于极紫外光刻系统中的投影物镜，必须对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚分布控制，以便实现波长匹配和减小镀膜引起的面形误差。
该研究团队采用遗传算法，完成了磁控溅射溅射源特性参数的反演和用于控制膜厚分布的公转调速曲线的反演，避免了直接测量磁控溅射速率空间分布的繁琐过程，减少了极紫外多层膜膜厚控制工艺的迭代次数，大大降低了获得超高膜厚分布精度极紫外多层膜反射镜的工艺成本。
该工作得到了“国家科技重大专项-02专项”项目经费的支持。
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
财联社11月16日电，中共中央政治局常委、国务院总理李强11月14日至16日在黑龙江、吉林调研。在吉林，李强走进长春金赛药业、长光卫星公司，详细了解企业创新发展情况，勉励他们持续加大研发投入，加强人才......
伴随着中国空间站的建造，与其共轨飞行的巡天空间望远镜的研制也正在紧张有序推进，预计在中国空间站建成后发射升空，将成为探索星辰大海的旗舰级空间天文设施。日前，美国国家航空航天局公布了韦伯空间望远镜拍摄的......
——长春光机所李晓天副研究员专访分析测试百科网讯光谱技术已迈过百年历史长河，中国的光谱分析技术亦可追溯到上个世纪50年代，今日中国的光谱技术已从国际上“跟跑”跃升到部分领域领跑的地位。在这背后，老中青......
美籍华裔科学家郭春雷、青年学者李备、德国科学院院士DieterHerbertBimberg，这3个本来不相干的人却因为一本学术期刊，聚到了中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（以下简称长春光机所）国......
6月29日，四家广东省实验室之一的季华实验室开展了首批项目评审活动，确定了11个项目作为首批推荐项目。首批项目征集93个子课题作为广东省四大实验室之一，季华实验室承担着重大使命。本次是季华实验室开展首......
&nbs......
备受瞩目的季华实验室建设迎来重要进展。5月3日，实验室建设运营主依托单位中科院长春光机所党委书记马明亚率领首批专职建设运营团队抵达佛山，正式常驻办公，当天还马不停蹄地进行了走访调研。3日当天，佛山市委......
近日，中科院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心先进光学薄膜与功能薄膜技术研究组基于等离激元杂化模式，提出了一种在保证低欧姆损耗的同时，能对光场产生强烈束缚作用的复合光栅纳米结构。相关研究成果发表......
为庆祝中科院长春光机所建所65周年，近日，以Light期刊为平台，由长春光机所与美国罗切斯特大学共同主办的LightConference2017在长春光机所开幕。会议邀请了来自美、英、加等13个国家和......
近日，国务院办公厅印发《关于建设第二批大众创业万众创新示范基地的实施意见》，系统部署了第二批国家双创示范基地建设工作，并公布了第二批共92个双创示范基地名单。其中，中国科学院长春光学精密机械与物理研究......