复旦大学微纳加工与器件公共实验室

复旦大学微纳加工和器件公共实验室成立于2011年6月。实验室由物理系系主任沈健教授牵头，物理系和微电子系共同参与建设和运转。

   纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位，但加工、配套器件工艺设备投入和运行成本较大。我国长期以来在先进科研设备方面投入偏少、分散，严重限制了相关领域的前沿基础研究和成果推广。从学科发展现状考虑，我校微纳米加工领域的落后条件已成为多个学科进一步发展的瓶颈问题，这严重限制了研究效率，也无法确保对成果知识产权的所有权。

   作为学校“985工程”三期重点建设的高水平学术研究中心之一，微纳加工和器件公共实验室致力于提升我校在微纳米尺度的实验研究能力，满足纳米相关学科前沿研究的迫切需求，服务于全校的研究课题。实验室建成后，将致力于成为国内微加工技术领域学术交流和人才培养的重要基地，促进我国纳米科技的发展。

   作为一个服务性质的校级公共实验设施，实验室将直接对学校负责，向全校所有物质科学和信息科学的院系开放。同时，微纳加工实验室良好的实验条件，有利于实施或争取多项国家重要科技计划（如若干重大专项、纳米重大研究计划等），可大幅度提升我校在国家纳米科技领域的地位。

   此外，目前上海地区无开放纳米加工平台，我校微纳加工实验室将面向全校、全市、全国开放，促进学校研究成果的技术转化，孵化对加工有需求的高新企业，对地方经济做出贡献。

办公室：


  联系人：安正华；电话：021-65648597

  行  政：裴颖；电话：021-65648597 地址：逸夫科技楼707

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          anzhenghua@fudan.edu.cn(安)

          peiying@fudan.edu.cn(裴)

  地  址：上海市杨浦区邯郸路220号逸夫科技楼707，邮编：200433


实验室：

设备负责人：

  安正华 Email:  anzhenghua@fudan.edu.cn 逸夫科技楼707

  王恒亮 Email:  whengliang@fudan.edu.cn 逸夫科技楼707

  张立建 Email:  zhanglijian@fudan.edu.cn 逸夫科技楼707

  徐红涛 Email:  xuhongtao@fudan.edu.cn 逸夫科技楼707

  电  话：021-55664097（转）-电镜区/刻蚀区/沉积区/光刻区

  地  址：上海市杨浦区邯郸路220号先进材料楼1楼东侧，邮编：200433