纳米(微米)压痕／划痕测试仪

1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用，提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应；

2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试；

3) Windows XP环境下自动操作；

4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试；

5) 材料黏弹性的动态机械分析；

6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试；

7) 压痕的分布地图绘制(Mapping)；

8) 选配的高低温测试；

9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测；

10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试模块功能；

应用领域

半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads)；

存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；

光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；

金属蒸镀层；

防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；

药理学(药片、植入材料、生物组织)；

工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)；