1,将真空泵,Pfeiffer氦质谱检漏仪,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.
2,Pfeiffer检漏仪上的阀门处于导通的状态.
3, Pfeiffer质谱检漏仪通电,3分钟后完成自检,进入”READY TO START”
4,先启动真空泵,再按氦质谱检漏仪上的”START/STOP”按钮,启动Pfeiffer检漏仪进入检漏工作状态.
5,在怀疑有漏的地方喷氦气,观察Pfeiffer检漏仪上的漏率显示曲线.
6,所有怀疑有漏的地方都喷过氦气后,检漏完成,下面完成关机.
7,关闭所有的手动阀门.
8, 按”START/STOP”按钮,使Pfeiffer氦质谱检漏仪停止检漏工作状态.
9,关闭Pfeiffer氦质谱检漏仪的电源,等待10分钟以上,使Pfeiffer检漏仪完全停止后,才可以移动搬运Pfeiffer氦质谱检漏仪.
10,拆除所有波纹管和卡箍,将现场恢复原状.
大概顺序示意图如下:
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