纳米压痕技术（英：Nanoindentation），也称深度敏感压痕技术（英：Depth-Sensing Indentation, DSI)，是最简单的测试材料力学性质的方法之一。
纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，它通过计算机程序控制载荷发生连续变化，实时测量压痕深度，由于施加的是超低载荷，监测传感器具有优于1nm的位移分辨率，所以，可以达到小到纳米级（0.1~100nm）的压深，它特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料力学性能，可以在纳米尺度上测量材料的力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。
近日，中国科学院近代物理研究所材料研究中心在纳米压痕测试方面取得新进展。研究发现，在进行纳米压痕测试时，使用不同的伯克维奇压头会导致试验结果不一致（除熔融石英外），并分析了造成这种情况的原因。相关研究......
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分析测试百科网讯纳米压痕已被证明是最实用和最有效的小体积机械测试方法之一，成功应用于各种材料。由Oliver和Pharr开发的方法已成为纳米压痕数据分析基本理论方法。为此，安东帕中国于2019年6月2......
分析测试百科网讯近日，安东帕宣布推出UNHT3HTV，该纳米压痕装置设计用于在高达800°C的温度下进行测试，基于安东帕在纳米压痕测试方面的长期经验。UNHT3HTV的核心是基于非常成功和ZL的超纳米......