洁净过滤器用于洁净空气系统。SMC SF系列洁净过滤器具有以下特点：
1、具有高洁净度和高可靠性的高分子隔膜式滤芯。过滤精度为0.01μm。二次侧洁净度可达6L内没有0.1μm以上的微粒！
2、全部产品都经过0.1μm洁净度检查！
3、全在洁净室内洗净、组装、检查、包装！
潮湿的热压缩空气，经过风冷式后冷却器冷却后，
再流入冷却器冷却到压力露点2~10℃。在此过程中，水蒸气冷凝成水滴，经自动排水器排出。除湿后的冷
空气，通过热交换器，吸收进口侧空气的热量，使空气温度上升。提高输出空气的温度，避免输出口管外
壁结霜，并降低了压缩空气的相对湿度。把处于不饱和状态的干燥空气从输出口流出，供气动系统使用。
只要输出空气温度不低于压力露点温度，就不会出现水滴。压缩机将制冷剂压缩以升高压力，经冷却器冷
却，使制冷剂由气态变成液态。液态制冷剂在毛细管中被减压，变为低温易蒸发的液态。在热交换器中，与压缩空气进行热交换，并被气化。气化后的制冷剂再回到压缩机中进行循环压缩。所用制冷剂为不破坏臭氧层的氟利昂R124a和R407c。容量控制阀是通过旁路管路，把高温制冷剂（气态）与进入热交换器的低温制冷制冷剂进行导通，调整至适合的温度，以适应处理空气量的变化货改变压力露点。蒸发温度表显示制冷剂低压侧的温度。
SMC IDU系列冷冻式干燥器为高温型冷冻式干燥器，压缩空气进口温度上限定为60~80℃，干燥器进口通常装有冷风式后冷却器（IDU3E~6E不带后冷却器）
SMC IDF系列冷冻式干燥器为标准型冷冻式干燥器，压缩空气进口温度上限定为50℃不带后冷却器。
SMC IDUE/IDFE系列为代不锈钢热交换器型冷冻式干燥器。它改善了防腐蚀性能，且流通能力增大40%，功率消耗减小38%，总尺寸也减小些。