基于视窗结构的软件，很容易操作 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出最佳的性能及最长的正常运行时间 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计 在很小的尺寸范围内，最多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率 系统配备大量的光学常数数据及数据库 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体 能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量 使用深紫外光测量的薄膜厚度最低可至20 Ǻ 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用
