可控气氛扫描探针显微镜WETSPM系列

仪器简介：

    可以在真空，各种气体（氮，氧等），可控湿度，温度，加热，低温，气体吹扫等气氛中进行观察，样品处理。

技术参数：

    可进行气氛控制下的SPM观察。可控制全体周围环境，通过大型观察孔和一双操作手套，可自由地在分析室内部进行前处理。作为in-Situ SPM 可追踪使温度、湿度、压力、光量、浓度等发生变化时的样品变化。

主要特点：

    ●手套孔 2个（两轴）
●真空泵 旋转泵 涡轮分子泵（选配）
●减振机构 内装空气弹簧式减振台
●加热/冷却机构，气氛吹扫机构等

控制气氛中的AFM观察

扫描探针显微镜SPM-9700HT通过添加控制气氛腔，就可以升级为可WET-SPM系列可控环境舱原子力显微镜。该系列最大限度地考虑了岛津独立自主研发的头部滑动机构、前面操作、全自动驱近、开放式头部等设计功能，全部可以在腔体内使用。这是SPM-9700HT的独有特点。特别适合在空气和水汽中易发生变化的样品的分析。

控制气氛腔

控制气氛腔是专为SPM-9700HT设计，与减震台一体化的具有手套箱的腔体系统。不仅样品，其所处的整个环境均可控制，因而可以在控制气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。(日本专利号No.2612395，美国专利号No.5200616)通过大型观察窗和两个手套孔，在腔体内可以自由进行样品的前处理。尤其是在控制气氛腔体上添加相应的选购件，可以作为原位(in-situ)SPM，实时跟踪在改变温度、湿度、压力、光量和浓度等条件时样品表面的变化。SPM单元很容易从腔体的背面放进或取出，所以可以作为大气型和控制气氛型两用SPM使用。

WET-SPM系列 选购件

温度湿度控制单元

可以安装在气氛控制腔体内，对腔体内的温度和湿度进行控制。

气体湿度控制器

FC膜的环境温度 湿度控制

低温

高温

可以观察到湿度变化能够引起树脂膜表面的形状变化。均为数nm程度的细微形状变化，湿度升高时出现均匀隆起，表面膨胀。

高分子膜

低温

高温

通过气氛温度湿度的控制可以捕捉到高分子膜的形状变化。

吹起单元

安装备用孔，对样品进行微量吹气。

镍表面的实时变化

对还原后的清洁表面（左）开始吹一氧化碳时，观察到由于羰基络合物的形成产生的形态变化（右）。

（日本物质工学工业技术研究所（当时）提供）

样品加热冷却单元

放置好样品后，能够对样品进行加热或冷却。

树脂 冷却观察

在粘性像中，可以观察到有差异的两相。

冷却至-30°C

冷却后，粘弹性的差异消失。

样品加热单元

放置样品，对样品进行加热。
大气状态下也可使用。

聚合物膜的加热观察

30°C

50°C

光照单元

可以在样品表面照射光纤灯的光。
不包含光源和光线灯。在大气环境中同样适用。

SrTiO3上并五苯薄膜进行紫外光照射观察

t

照射前

照射

照射40分後

并五苯薄膜一层为1.6nm，2～3层将会形成簇状。用波长为365nm的紫外光照射时簇状会逐渐散开，40分钟后簇状薄膜基本消失。这期间几乎没有任何图像飘移，可以在同一视野范围内进行观察。

（东京工业大学 新研发共同创造中心 松本先生提供）

气体引入机理：单流路自动控制

泵：机械泵160L/min，分子涡轮泵50L/sec

SPM-9700主要技术指标：

主要技术指标

扫描范围：0.1nm扫描器zei大扫描范围

测定像素：2048*2048,1024*1024,512*512,258*258,128*128,64*64,32*32