JEM-3200FS场发射电子显微镜配备了zei高加速电压为300kV的场发射电子枪(FEG)和镜筒内置式Ω型能量过滤器,能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。
镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器)
镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统,能容易地获得能量过滤像和能量损失谱,同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上zei大程度地减少了图像畸变,出厂前还将剩余一点的畸变做了zei后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统(选配件),可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。
新型控制系统
电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化,实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1,可以进行编程操作和附件的集中控制。
新型测角台
系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构,使高倍率下的样品移动更加精确。*2.
*1 : 注意事项:Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。
*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中,压电元件的电源为选配件。
物镜种类*1 | 极高分辨率 (UHR)型 | 高分辨率 (HR)型 | 样品高倾斜 (HT)型 | 高衬度 (HC)型 |
分辨率 | ||||
点分辨率 晶格分辨率 | 0.17nm 0.1nm | 0.19nm 0.1nm | 0.21nm 0.1nm | 0.26nm 0.14nm |
能量分辨率 | 0.9 eV(零损失FWHM) | |||
加速电压 | 300kV,200kV,100kV*2 | |||
zei小步长 能量位移 | 100V zei大3,000V (以0.2V为步长) | |||
电子枪 | ||||
发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
真空度 | 3×10-8Pa | |||
探针电流 | 探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上 | |||
稳定度 | ||||
加速电压 | 2×10-6/min | |||
物镜电流 | 1×10-6/min | |||
过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | |||
物镜 | ||||
焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
zei小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
束斑尺寸 | ||||
TEM 模式 | 2 ~ 5 nmφ | 2 ~ 5 nmφ | 7 ~ 30 nmφ | |
EDS 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | 4 ~ 20 nmφ | |
NBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
CBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
电子束衍射 | ||||
衍射角(2α) | 1.5 t~ 20 mrad | - | ||
取出角 | ±10 ° | - | ||
倍率 | ||||
MAG 模式 | ×2,500 ~ 1,500,000 | ×2,000 ~ 1,200,000 | ×1,500 ~ 1,200,000 | |
LOW MAG 模式 | ×100 ~ 3,000 | |||
SA MAG 模式 | ×8,000 ~ 600,000 | ×6,000 ~ 500,000 | ×5,000 ~ 500,000 | |
视野 | 10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上) | |||
相机长度 | ||||
选区电子衍射 | 200 ~ 2,000 mm | 250 ~ 2,500 mm | 400 ~ 3,000 mm | |
EELS 散射 | ||||
能量选择 | 0.85 μm/eV , 300 kV | |||
在能量选择狭缝上 | 100 ~ 220 μm/eV , 300kV | |||
样品室 | ||||
样品移动范围 (X,Y;Z) | X,Y : 2 mm Z : 0.2 mm | X,Y : 2 mm Z : 0.4 mm | ||
样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
EDS*4 | ||||
固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
取出角 | 25° | 20° |
*1 : 订货时请指定物镜种类。
*2 : 加速电压为100、200kV时,使用加速管短路开关(选配件)。
*3 : 使用样品双倾样品杆(EM-31630)。
*4 : 需要EDS系统(选配件),使用规格为30mm2的检测器时的数値。
今年7月,中国新能源乘用车在全球新能源汽车占比已超六成。这一数据预示着新能源车巨大市场的同时,也意味着传统燃油车正面临越来越多挑战。传统车企会如何转型?新能源车市场的“蛋糕”又该怎么分?中国占比已超六......
近日,在2022世界新能源汽车大会上,中国科学院院士、清华大学教授、大会科技委员会联合主席欧阳明高代表大会公布了2022“全球新能源汽车前沿及创新技术”评选结果。此次评选的创新技术汇集了动力电池、燃料......
8月3日消息,昨日,国家能源局召开三季度网上新闻发布会,发布2022年上半年能源形势、可再生能源并网运行情况等。国家能源局表示,能源领域有效投资力度不断加大。抓紧推动实施一批能源项目,核准浙江三门、山......
近几年,为应对气候变化、实现能源转型,许多国家大力发展可再生能源。相比于传统化石能源,可再生能源发电普遍存在间歇性、波动性问题,需要依靠储能技术来进行调节,发展储能成为各国能源转型的重要一环。从全球来......
中新网重庆7月23日电(梁钦卿)“碳中和、碳达峰需要在节能减排和能源转型两个方面探索。轻量化是目前新能源汽车实现节能减排的现实途径;新型电池的发展与突破对新能源汽车可持续发展影响极大。”中国工程院院士......
7月4日消息,多家造车新势力近日公布6月成绩单。数据显示,本月新能源汽车行业成绩亮眼,交付量集体破万。其中,小鹏汽车以15295台的交付量位居第一,同比增长133%。第二季度小鹏汽车累计交付34422......
2022年6月30日,中国科协召开第三季度新闻发布会,会上确定第四届世界新能源汽车大会(WNEVC)将于2022年8月25-28日在海南海口举办。本届大会以“碳中和愿景下的全面电动化与全球合作”为主题......
截至6月17日,年初以来磁材板块累计下跌4.81%,跑赢沪深300 基准7.91个百分点。板块当前估值37.1x,仍属于相对合理区间。2022Q1营收及扣非净利润增速分别为66.42%和59......
气候变化加剧了极端天气事件风险,进而对人类健康和食品安全产生重大影响。联合国儿童基金会敦促各国在2030年前将二氧化碳排放量减少45%,并将全球平均气温升幅控制在1.5°C以内。然而,各国政府在实现这......
“十四五”是碳达峰的关键期、窗口期。昨天,《“十四五”可再生能源发展规划》公开发布,明确了“十四五”期间,我国可再生能源发展的目标、重点任务和保障举措。《规划》明确,到2025年,可再生能源消费总量达......