日本电子JSM7800FPRIME热场发射扫描电子显微镜

• JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜

• JSM-7800FPRIME采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界zei高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将zei大探针电流从200nA提高到了500nA。

• JSM-7800F PRIME采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界zei高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将zei大探针电流从200nA提高到了500nA。

• 浸没式肖特基Plus场发射电子枪

• 电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得几pA～数10 nA 探针电流，保持zei小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。

• 利用GBSH(Gentle Beam Super High Resolution)观察样品表面

• 以前的GB※模式经过改进后，可以对样品施加更高的电压，这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析，GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。
  ※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。

• 通过Gentle Beam (即柔和光束GB模式) 观察样品的浅表面

• 给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低，也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式，用数十电子伏能量的入射电子束，就可以进行更高分辨率的观察。

• 通过多个检测器获取样品的所有信息

• JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

• 应用实例

• 利用GBSH进行观察
  JSM-7800FPRIME 标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像，到达样品时的能量为1keV，左图中样品偏压为-2kV，右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察，HOPG的微细结构更加清晰，达到的分辨率更高。

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• 主要选配件

• 能谱仪（EDS)

• 波谱仪（WDS）

• 电子背散射衍射系统（EBSD)

• 阴极荧光系统（CLD）

主要选配件

• 能谱仪（EDS)

• 波谱仪（WDS）

• 电子背散射衍射系统（EBSD)

• 阴极荧光系统（CLD）