μEDX系列能量色散型微区X射线荧光光谱仪

μEDX系列X射线荧光光谱仪可以高灵敏度地分析很小的样品。对于需要高分辨率同时高X射线强度才能进行测定的电子部件、电路板以及材料中的异物等微小局部的测定，本装置可进行高灵敏度、高分辨率，分析直径zei小至50μm的分析。

• 采用岛津独创的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μm直径微小领域，实现高灵敏度、高精度分析。

• 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。

• 配备双CCD(高倍率、低倍率)摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。

• 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。

• 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上率先配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。

• 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购)，也可进行透射Ｘ射线的同时测定。

• 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高精度分析。

        (μEDX-1400)

• 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

测量原理：X射线荧光光谱法

测量方式：能量色散

测量样品类型：固体、液体或粉末

测定范围： ¹³Al ~ ⁹²U（μEDX-1200型，μEDX-1400型）； ¹¹Na ~ ⁹²U（μEDX-1300型）

zei大样品尺寸：宽200mm宽 × 300mm深 × 40mm 高

测量气氛：大气

X射线发生器

• X射线管：Rh靶

• 管电压：5 kV ~ 50 kV

• 管电流：1 uA ~ 1000 μA

• 冷却方式：空气冷却（带风扇）

• X射线覆盖方法：集束毛细管透镜

• 照射直径：约50 μm

• 暴露区域：标配10 mm 直径（可在4种设置间自动切换：1 mm、3 mm、5 mm和10 mm直径）

• 1次滤光片（主滤光片）：在5种1次滤光片间自动交换（Al, Ti, Ni, Zr, OUT）

检测器（μEDX-1200型，μEDX-1300型）：

• 类型：Si（Li）半导体检测器

• 液氮供应：仅在测量时需要

• 杜瓦瓶容量：3 L

• 氮气消耗：约1 L/天

• 测量区域：30 mm²

检测器（μEDX-1400型）：

• 类型：Si漂移半导体检测器

• 冷却方法：电子冷却

• 液氮供应：不需要

• 测量区域：5 mm²

样品腔：

• 测量气氛：空气

• 样品观察：CCD相机

传输图像观测单元（选项）

• 检测器类型：闪烁计数器

样品台

• zei大：100 宽 × 100 深 × 40 高 mm

• zei大装载重量：2 kg

• 工作距离：6.5 mm（μEDX-1200型，μEDX-1400型）；1.5 mm（μEDX-1300型)

样品观测单元

• CCD：双CCD

• 倍率：可在低/高倍率间切换

• 聚焦：自动聚焦

数据处理硬件：主流计算机，彩色打印机，WindowsXP

软件 

• 样品观测：可控荧光强度；视角转换；实时调整观测尺寸（RSSV）

• 定性分析：平滑；捕峰；自动鉴定/手动鉴定；峰适应

• 定量分析：校准曲线法、FP法、薄膜FP法、BG－FP法；包括基质校正和内标校正的校正功能；厚度计算模拟

• 图像分析

        步进图像，线分析
        高速图像（μEDX-1200型，μEDX-1300型）
        全景（定性）图像
        同时测定传输的图像（*选配安装传输图像观测单元）
        元素叠加
        选择伪色彩，浓缩，鸟眼（bird's eye）或网格显示
        滤光计算处理

• 生成报告：简单报告（显示图像和分析结果）；总结报告（显示图像和多点分析结果）；表格（显示统计结果）；生成控制图和直方图

• 匹配：四种匹配模式；根据成分和强度作图

• 网络功能：对分析完成和错误进行Email通知；分析结果的传输

• 维护功能：单元监视器：连续监视X射线输出、计数率等；自动控制：X射线开/关周期操作；单元校正：自动校正能量和半峰宽

• 简单操作软件

• 定性分析：测定•解析软件

• 定量分析：

• 匹配软件：强度/容量

• 功能：自动校正功能（能量校正、半峰宽校正）

• 其它：系统状态监控功能；分析结果列表功能；分析结果报告创建功能

安装要求：

温度：周围温度18℃~28℃

相对湿度：40％ ~ 70％

电源：100 ~ 120 VAC，6A，50/60 Hz；200 ~ 240 VAC，3A，50/60 Hz；接地

外部尺寸：

• 单元（宽×深×高 mm）：486×649×704

• 控制器（宽×深×高 mm）：215×490×464

重量：主单元约85 kg；控制器约15 kg