火焰原子化
在这过程中，大致分为两个主要阶段：
（1）从溶液雾化至蒸发为分子蒸气的过程。主要依赖于雾化器的性能、雾滴大小、溶液性质、火焰温度和溶液的浓度等。
（2）从分子蒸气至解离成基态原子的过程。主要依赖于被测物形成分子的键能，同时还与火焰的温度及气氛相关。分子的离解能越低，对离解越有利。就ICP原子发射光谱仪而言，解离能小于3.5eV的分子，容易被解离；当大于5eV时，解离就比较困难。
