中科科仪研制多项“首台套”产品，突破“卡脖子”难题

　　开局即奔跑，实干争春早。作为辖区内“硬科技”企业，中科科仪紧密围绕“抢占科技制高点”的总目标、总任务、总要求，依靠关键核心技术创新，研制出多项国内“首台套”产品，打破国外垄断，解决了一批高端科学仪器装备与核心零部件关键领域“卡脖子”“空心化”问题，为高质量发展奠定坚实基础。

　　日前，记者走进北京中科科仪股份有限公司（以下简称“中科科仪”）看到，企业内各个团队铆足干劲，全力投入到研发工作之中，奋力冲刺“开门红”。

　　记者走进中科科仪真空技术实验室看到，研发中心的工程师们正在全方位进行半导体前道工艺专用磁悬浮分子泵的各项性能测试，进一步扩大半导体装备“心脏部件”——磁悬浮分子泵的国产化水平，为我国半导体产业链自主可控贡献力量。

　　中科科仪 真空技术工程 许鹏：磁悬浮分子泵是集成电路关键制造装备的核心部件，但是在集成电路装备领域长期受国外垄断，严重影响了我国集成电路产业的安全，磁悬浮分子泵产品国产化已经成为制约我国集成电路制造装备产业发展的“卡脖子”问题。

　　为了破解这一关键“卡脖子”难题，中科科仪真空技术研发团队深耕细作，依托在分子泵领域近50年的核心技术积累和产业化应用经验，聚焦半导体产业应用，成功开发出半导体刻蚀和离子注入专用全口径、全系列磁悬浮分子泵。

　　中科科仪 真空技术工程 许鹏：我们的磁悬浮分子泵完成了高压强磁屏蔽、大承载力、智能化磁悬浮控制、耐腐蚀表面处理和防沉积等数十种核心技术攻关，目前产品的性能指标与稳定性都已经达到了国际先进水平。

　　为了进一步精进产品，新春伊始，真空技术研发中心的工程师已经紧锣密鼓投入到定制化新产品研发、性能测试和产品应用技术支持工作中。

　　中科科仪 真空技术研发中心主任——宋海燕：我们将持续深耕半导体装备需求，明确技术攻关方向，不断提升产品性能，力争实现对国际竞品的全面替代，以更新、更优、更智能、更可靠的产品，抢占科技制高点，解决行业发展瓶颈问题，推动半导体行业稳步发展。

　　随后，记者来到中科科仪扫描电子显微镜的生产现场，看到中科科仪的总体调试工程师们正在对一台台扫描电子显微镜进行最后的集成调试。生产现场的另一侧，已经检验合格的扫描电子显微镜正在进行专业的包装，随后将发到客户现场进行后续安装调试验收。

　　中科科仪 扫描电镜生产负责人——李文龙：扫描电子显微镜被列为国家三十五项“卡脖子”技术之一，也被称为科学界的“纳米之眼”，主要应用于材料、物理、化学、生命科学等领域。作为高端通用大型科学仪器，在纳米量级观测设备中，扫描电子显微镜与纳米科技、分子生物学、半导体制造检测技术等行业相互促进发展。当前，我们的产品在市场中已经具备与国外品牌直面竞争的能力。作为国产电镜力量，我们不断为我国科学家构建创新研究平台，努力为实现高水平科技自立自强、为加快创新驱动发展提供强有力的支撑。

　　此外，作为科学仪器产业链链主企业，中科科仪不仅聚焦自身“科创实力”的增强，同时坚持系统观念、问题导向，全力增强产业链、供应链上下游企业的自主可控能力。记者在中科科仪园区内看到，园区内除了中科科仪，还有北京中科科美科技股份有限公司、北京真空学会和1家集成电路全国重点实验室。

　　中科科仪 园区开发管理部经理助理——毕思思：为进一步促进科技创新，我们在中科科仪的园区内，积极围绕创新链、产业链、人才链等进行资源整合，希望可以吸引优质科技企业入驻。与此同时，我们加快形成与科技创新体系、产业发展体系密切结合的创新生态体系，以期更好为园区内科技企业提供高品质服务。

　　中科科仪 党委副书记、总经理——王高峰：中科科仪还将继续坚持聚焦“硬科技”发展的定位和要求，秉承国有企业的责任与担当，服务国家重大战略需求，引领国内尖端科学仪器设备及真空技术进步，领航产业发展，为全面抢占科技制高点，实现高水平自立自强作出更大贡献。

　　创新争先始终是中科科仪最亮眼的底色。作为目前国内极少数同时具备电子光学仪器及超高真空获得部件研发制造能力的企业之一，未来将持续聚焦高端科学仪器装备和核心零部件科技成果转化与规模产业化，在攻克“卡脖子”难题、实现国产化替代等方面发挥重要作用。