了解扫描电子显微镜，先从这些说起

　　了解扫描电子显微镜，先从这些说起

　　扫描电子显微镜是一款全自动、无损显微分析系统，可针对几乎所有无机材料和部分有机材料，迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据，在采矿业，可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化。在石油和天然气行业，对钻井岩屑和岩心试样进行显微分析，从而降低风险并提高采收率。在煤炭行业，利用该系统自动分析煤、煤粉和煤燃烧产物，可以更好地了解煤燃烧和废物利用情况。

　　由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质等）等因素有关，因此，通过接收和处理这些信息，就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析或成分分析。在应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化，焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。

　　它的观测电畴是通过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的，由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样，利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。因此，可以将样品表面预先进行化学腐蚀后，利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。观察到的PLZT材料的90°电畴。与其他设备的组合以实现多种分析功能。

　　优点：

　　1、有较高的放大倍数，2-20万倍之间连续可调；

　　2、有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

　　3、试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此扫描电子显微镜是当今十分有用的科学研究仪器。