1.获得样品最表层1-3个原子信息深度信息；
2.可以检测同位素，用于同位素分析 ；
3.达到ppm~ ppb级的探测极限。
4. 可以并行探测所有元素和化合物，离子传输率可以达到100%。
5.采用高效的电子中和枪，可以精确的分析绝缘材料。
6. 具有很小的信息深度（小于1nm）；可以分析材料最表层（原子层）的结构。
7. 极高的空间分辨率，对于样品表面的组成结构一目了然（小于50nm)。
8. 可以探测的质量数范围包括12000原子量单位以下的所有材料，包括H, He等元素。
9.可以同时给出分子离子峰和官能团碎片峰；可以方便的分析出化合物和有机大分子的整体结构。
10. 采用双束离子源可以对样品进行深度剖析，深度分辨率小于1纳米。