什么是散射仪？

　　使用光学的办法来测量光刻胶图形的线宽等几何尺寸的仪器称为散射仪。散射仪（scattermetry）的工作原理是：一束光入射在晶圆表面，晶圆表面的光刻胶图形对入射光产生散射和衍射，这些含有表面结构信息的光被探测仪接收。对探测仪器接收的信号做分析，得到晶圆表面光刻胶图形的三维尺寸。