隔膜式真空阀是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-25~80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30~150℃。