仪器仪表实验室显微镜数显系统的检定

数显系统的检定

根据万工显检定规程中的相关规定，需要检定读数装置的示值误差、读数装置的回程误差和示值误差。

(1)读数装置的示值误差检定

对数显系统来说，读数装置的示值误差就是数显表的最小分辨率，即±0.5μm，无须检定。

(2)读数装置的示值误差的检定(相当于磁栅尺的重复性)

光栅尺读数装置就其构造和原理来说是没有回程误差的，当然这需要很高的工艺水平做保证。

通过用0.1μm的电感测微仪反复测试，光栅尺读数装置的回程误差最大不超过0.5μm。

(3)示值误差的检定(相当于磁栅尺的准确性)

用检定极限误差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作为标准，按照规程规定的条件方法对纵、横向分别进行检定;若没有玻璃刻度尺，可用万工显原有的刻度尺与光栅尺进行比较检定，并用仪器原有的示值误差进行修正，以确定光栅尺各被检点的实际误差，若有超差再用线性补偿系统进行补偿。