1、必须按照测试仪器的检定周期，定期对仪器做检定。使用校验合格，且在使用有效期内的仪器。
2、测试仪器在未进入被测区域时，若必须，则先清洁表面，或在相应的洁净室内准备和存放（用保护罩或其他适当的外罩保护仪器）。
3、在100级洁净室内用纸时，上面应蒙上一张透明不沾尘的覆盖物，在100级洁净室内不能用铅笔和橡皮。
4、使用测试仪器时应严格按照一起使用说明书操作。
