吸引全球关注的俄乌战事仍在持续。当地时间25日,联合国安理会就关于立即停止俄罗斯在乌克兰攻势一事进行投票,由于俄罗斯否决,该决议未能通过。美国、欧盟同时对俄罗斯发起制裁。
在全球缺芯问题仍未解决的当下,乌克兰和俄罗斯之间的冲突或许会加剧供应问题。氖气和氪气等稀有气体是半导体光刻环节中必需的材料,钯则可以用于某些封装工艺。目前,乌克兰是全球氖气等电子特气的供应大国,而俄罗斯则是钯、镍、铝等金属材料的输出大国。
作为制造芯片的关键性材料,氖、氪和氙等电子特气在这其中扮演着非常重要的角色。根据SEMI数据,2019年全球晶圆制造材料市场规模约328亿美元,其中电子特气规模约 43 亿美元,占比13%,是仅次于硅片的第二大耗材。
此前2015年乌克兰危机时,氖气价格就曾暴涨20倍,造成供应链危机。本次,俄乌两国的冲突或许同样会造成相关材料短缺、涨价,影响全球半导体产能。
俄、乌在芯片供应链中的位置
2月1日,美国原材料市场调查公司Techcet发布报告称,由于俄罗斯和乌克兰的战争威胁,如全氟丁二烯、氖气、钯等用于芯片生产的材料可能面临中断。
据统计,在金属产品中,俄罗斯镍出口占全球市场的49%,钯出口占42%、铝出口占26%、铂出口占13%。其中,钯是制造传感器、内存等所需的重要金属。

电子特气是制造芯片的关键材料,芯片的制造、氧化、光刻、蚀刻等环节都离不开它们。其中,氖是准分子激光气体的原材料之一,氪用于KrF光刻工艺,氙气则用于半导体刻蚀环节。
乌克兰供应的氖气约占全球70%,并且供应全球约40%氪气,和30%的氙气。这些电子特气主要用于8英寸晶圆250~130nm成熟制程。250~130nm制程产品包括电源管理芯片(PMIC)、微机电系统(MEMS)及MOSFET组件、IGBT等功率半导体组件。
在供应链中,氖气是俄罗斯钢铁制造的副产品,俄罗斯主要进行粗气分离,而一家专业的乌克兰公司采购这种氖气并进行提纯、精制并向全球输出。
此外,俄罗斯全球最大的钯金属生产国,2021年生产了260万盎司钯,约占全球产量的40%,而世界上大约25-30%的钯是由西伯利亚的诺里尔斯克镍公司开采的。钯是芯片的关键原材料,在某些封装工艺可以用作电镀材料,也可以用于传感器和存储器的制造。
对芯片供应链的影响
据美国贸易委员会(ITC)的数据显示,在2014年克里米亚半岛局势紧张的时期,氖气价格一度上涨了600%。许多公司开始转向中国、美国和加拿大寻求多元化供应。
据报道,经历过价格飙升后,半导体业界已经优化了制造工艺,减少了氖气的使用量,但氖气仍是生产中不可缺少的气体材料。
过去一年,相关电子特气已经出现大幅涨价。氖气价格从每立方米600元左右上涨到了目前的1700元左右,氪气的市场均价则从每立方米1万元左右涨到了3万元左右。
据同花顺金融数据显示,2021年10月以来氖气价格已呈上行趋势,2022年2月俄乌事件以后整体再度上涨20%~30%。
据百川盈孚价格跟踪数据,我国氖气(含量99.99%)价格已从2021年10月份的400元/立方米上涨到目前超过1600元/立方米。
凯美特气表示:“氖气价格最新一直在上涨,俄乌开战前价格涨到2100元/立方米左右;自俄乌正式交战,公司已经停止氖气报价了。”

凯美特气高管介绍,氦氖氪氙气中,氙气最贵,特别是航空氙气,纯度越高、价格更高,特别是俄罗斯与乌克兰局势紧张,价格会持续走高。
TrendForce分析,俄乌冲突加剧可能扰乱氖气供应,但从短期看不会造成全球芯片生产彻底瘫痪。只是,国际市场氖气供应减少“可能导致(氖气)价格上涨,进而导致芯片制造成本增加”。
2月24日,工业钯金价格攀升至每盎司2550美元,这是自2021年8月以来的最高价格。道明证券大宗商品策略主管巴特梅莱克认为,钯金可能会达到去年每盎司3000美元以上的创纪录高位。
俄乌紧张局势中最为紧张的应该是日、韩、美等国家。日本国内只能自产非常少的稀有气体量,绝大部分需要依赖乌克兰和中国的进口。
“芯片制造商并未感受到任何直接影响,但为他们提供半导体制造材料的公司会从俄罗斯和乌克兰购买氖气和钯等气体。这些材料的供应本来就很紧张,所以任何进一步的供应压力都可能推高它们的价格,进而可能导致芯片价格上涨。”日本芯片行业知情人士称。
韩国在氖气上过去全部进口并依赖外国技术,2022年年初刚刚实现国有化生产。而此次韩国浦项制铁建成的装置每年可生产约22000立方高纯氖气,预计只可满足韩国需求的16%。因此韩国对于俄乌局势有可能减少氖气供应有相当的顾虑。
对美国而言,据Techcet估计,美国90%以上的半导体级氖气来自乌克兰,35%的钯来自俄罗斯。而随着俄罗斯、乌克兰两国冲突的升级,美国氖气相关产业链将面临“断供”的风险。
市场分析公司Hi Investment & Securities在近期一份报告中说:“由于美国高度依赖俄罗斯和乌克兰提供钯、氖气,一旦美国芯片生产受到干扰,一系列(使用芯片的)工业制成品的生产进度就会相应受到干扰。”
另外,美国会对俄罗斯的严厉制裁,也可能让稀有气体和其他半导体材料成为俄罗斯对美反制措施的筹码。
据市场研究机构集邦咨询称,从短期影响来看,俄乌冲突虽可能冲击该地区惰性气体供应,但在半导体厂、气体供应厂皆备有库存,且仍有其它地区供应的情况下,短期内不至于造成产线中断影响产出,不过气体供应量减少仍将造成价格上涨,芯片生产成本可能因此上涨。
相关芯片企业的回应
针对俄罗斯和乌克兰之间的紧张关系,英特尔、SK海力士、美光、ASML等厂商都对外宣称,可能发生的稀有气体和钯等材料短缺对于各自的产品生产影响较小。
英特尔公司发言人William Moss称,英特尔预计氖气的供应不会受到任何影响。
在此前韩国的“半导体投资振兴会议”期间,韩国存储芯片制造商SK海力士CEO李锡熙(Lee Seok-hee)表示:“我们有足够的(芯片生产所需物资)库存,作了充分准备,所以无需担忧。” 也就是说,乌克兰相关风险对其业务无影响。
韩国芯片制造商三星电子有限公司表示,生产照常进行,目前供应链方面尚未受到俄乌冲突影响,会继续密切关注局势,并已经积极推动原材料渠道多元化。

美国晶圆代工商格芯(GlobalFoundries)表示,乌克兰战争预计不会产生直接风险,公司可以灵活地在俄罗斯或乌克兰以外寻找资源。
美国存储厂商美光科技CEO Sanjay Mehrotra称,俄乌冲突升级凸显出半导体供应链的复杂性和脆弱性,但其对惰性气体的采购较为多元化,氖气主要来自欧盟、美国和亚洲的各种供应商,乌克兰占比不高,同样库存充足,相信其惰性气体供应链处于合理状态。
台湾芯片制造商联华电子也认为俄乌冲突对其供应链没有影响。中国台湾芯片测试和封装公司日月光半导体表示,“目前”其材料供应保持稳定。市场研究公司TrendForce高级分析师Joanne Chiao表示:“俄罗斯目前不是台湾铸造行业的主要市场之一。”
全球最大芯片代工商台积电拒绝在“此时”置评。中国台湾“经济部”在一份声明中称,他们已检查了台湾的半导体供应链,没有发现材料或生产活动受到直接影响。
马来西亚芯片制造商Unisem表示,从原材料的角度来看,俄乌冲突预计不会对芯片生产造成影响,因为Unisem所需的材料并非来自俄罗斯,其设备主要来自美国、日本、韩国、新加坡和当地。马来西亚已成为芯片生产链中的重要一环,占全球芯片组装测试和封装的13%。
据路透社报道,全球最大光刻机厂商阿斯麦(ASML)表示,尽管乌克兰是世界上最大的氖气生产国家,但阿斯麦使用的气体中,只有20%不到来自该国,其正在考虑工厂使用的氖气替代来源,以防俄罗斯和乌克兰之间的冲突切断供应。
对中国相关企业的影响
从全球厂商布局来看,目前电子特气的主要生产商包括法国液空、美国空气化工产品、林德普莱克斯、日本昭和电工、韩国大成产业气体、韩国SK、日本住友、中国台湾联华实业等。
根据国金证券的分析,美国、欧洲的8英寸/12英寸晶圆厂受到影响的概率较大,中国大陆/台湾、韩国、日本等非相关国家和地区,由于半导体气体和材料的获取渠道畅通,反而有机会受惠于短期内市场份额的提升。
虽然电子特气拥有诸多壁垒,行业集中度相对较高,但目前我国也取得了多个品种的技术突破,比如三氟化氮、超纯氨、锗烷等是目前配套半导体材料中国产替代进度最快的子行业,部分电子特气已经逐渐实现国产化。
国金证券认为,后续如果有氖气、氪气和氙气的供应风险,下游晶圆厂的寻求替代供应商需要半年以上时间验证,会面临新的短料风险。
如果乌克兰氖气、氪气等供应受阻,国内凯美特气、华特气体有望受益。此前,因为用于半导体生产的电子特种气体品质要求较高,在这一领域存在着较高的技术壁垒和材料认证壁垒。如果氖气等特种气体供应收紧,国产芯片制造厂商或将引入国产气体材料,降低行业壁垒。

国内华特气体、凯美特气已经可以供应光刻气体。
华特气体是获阿斯麦(ASML)和GIGAPHOTON同时认证通过的国内唯一气体供应商,与FAB客户保持良好的沟通与战略合作。目前公司国内光刻气体市场占据了约60%份额市场份额,在国产客户的导入期整体在加速。
受益于电子特气销售量增长、国内半导体市场需求增长、新增产品及客户的增长,2021年华特气体在净利润实现1.28亿元,同比增长约20%。截至2月24日A股收盘,华特气体报81.36元/股,涨幅4.64%,总市值达97亿元。
据凯美特气高管介绍,该公司正在积极推进国内、国外认证进度。据介绍,凯美特气系A股少有可以提供电子级氖气等特种气体供应厂商,拥有电子特种气体全产业链,上游气源主要来自中石化、中石油等,原料主要是从尾气里面回收。
最新业绩预告显示,凯美特气2021年将实现盈利1.15亿元-1.44亿元,同比增长 60%-100% ;公司业绩增长主要由于液化气、戊烷产品产销两旺所致。
2021年,中国已经成为全球电子特气主要的供应国之一,60%的氖气出口给了韩国、37%的氪气出口到了日本、30%氙气出口到了韩国。
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