光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.
Photolithography（光刻） 意思是用光来制作一个图形（工艺）；
在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
据日经新闻报道，佳能计划投资500亿日元提高光刻机产量，将其在日本的半导体制造设备产量翻一番。报道称，佳能将在日本东部栃木县新建一座半导体设备厂，目标将当前产能提高一倍，总投资额超过500亿日元（约3......
近日，清华大学发布双面对准光刻机采购项目，详情如下：项目编号：清设招第2022114号（0873-2201HW3L0236）项目名称：清华大学企业信息双面对准光刻机采购项目预算金额：800.00000......
当前，芯片问题广受关注，而半导体工业皇冠上的明珠——以极紫外（EUV）光刻机为代表的高端光刻机，则是我国集成电路（IC）产业高质量发展必须迈过的“如铁雄关”。如何在短期内加快自主生产高端光刻机的步伐，......
近年来，财政科技投入日渐增高，科研设施与仪器规模持续增长，但高校院所中，却有部分仪器设备利用率并不高。一名高校教授向记者吐槽，其所在学院光刻机就有四五台。如果拉通共享，一台足够。另一边，中小微企业特别......
科技的快速发展，现在已经是一个技术至上的时代，掌握核心技术就相当于在科技领域占据主导地位。因此芯片领域现在是这个时代的重要部分，芯片是电子技术的核心组织。近年来由于美国的打压，我国勉强走上了自主研发芯......
据悉，全球最先进的光刻机厂商ASML正在开发一款新版本的EUV光刻机，研制成功后它将是世界上最先进的芯片制造设备。该光刻机名为HighNA，目前第一台机器正在研发之中，预计摇到2023年才会提供先行体......
全球光刻机龙头阿斯麦将在当地时间周三午后举行投资者日。在事前发布的声明中，公司明确表示对高端光刻机业务前景和“钱”景持续乐观的立场。作为向芯片制造业提供关键生产工具的龙头企业，阿斯麦预期这一轮电子行业......
在芯片制造业中，光刻机是必不可少的精密设备——每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造。也正因为此，与之相关的突破性研究成果备受关注。2月25日，清华大学的一项科研成果刊登在《自然》上，引起了国内外学......
193nm光刻机是目前半导体产业的核心装备。为实现大的数值孔径，光刻机镜头通常包含大量接近于半球形状的凸球面和凹球面，这些球面导致同一镜面上光线入射角度范围高达0°到60°以上。目前通用的热蒸发行星镀......
近日，中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功波长254nm的实用深紫外光刻机（Maskaligner），光刻分辨力达到500nm。Maskaligner因使用方便、效率高、成本低，一直......
