1) 独创的一体化集装式管路系统,采用进口集装管路,显著减少管路连接点,大大降低漏气率,提高极限真空度。
2) 模块化结构设计,一体式集装管路,需人工进行连接的部件少,有利于根据用户需求按需配置及后期功能扩展,有利于维修更换。
3) 采用德国进口的真空泵,噪音小,运行稳定,防油返功能卓越,极限真空度高,可达4x10-2Pa (3x10-4Torr)