1、氙与氟混合加热，若氟量增加，依次可制得二氟化氙、四氟化氙、六氟化氙。如氟、氙配料比及反应温度、反应压力选择得当，收率可提高。
2、将氙（稍过量）和氟导入硬质玻璃反应器中，在98066.5帕下，光照24小时，也可生成二氟化氙，再经数周，就见到结晶。但应注意，反应器应绝对干燥，否则将腐蚀反应器。以氧化银、三氧化二镍、二氟化镍、氟化银等为催化剂可使反应度大大提高。
