椭圆偏振仪是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的计量仪器，于2010年3月1日启用。
一、椭圆偏振仪的技术指标：
光谱范围：高稳定性的 150 W；氙灯光源：光谱范围：190 –880 nm, 1200 gr/mm 的光栅；入射角度全自动可变：40-90度，步长0.05度，精度0.01度；Psi和Delta的精度很高：空气中，当: Psi=45度；Delta=0度，在190-880nm范围内：Psi= 45: +/ -0.01° ，Delta = 0 +/ -0.03°；在线单波长测量速度好于10ms/点，50ms/点可达到非常高的信噪比。 [1]
二、椭圆偏振仪的主要功能：测量样品的偏振参量信息等，可用于在线监测，也可用于离线的样品测试；可使用不同大小的光斑探测样品。