1970年，荷兰科学家Bergveld研制出了对氢离子响应的离子敏感场效应晶体管，标志着离子敏半导体传感器的诞生。半导体传感器以其易于实现集成化，微型化、灵敏度高等诸多优点，一直引起世界各国科学家的重视和兴趣。由于电子技术的飞速发展，以半导体传感器为代表的各种固态传感器相继问世。这类传感器主要是以半导体为敏感材料，在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化，通过检测这些物理特性的变化，即可反映被测参数值。它与各种结构型传感器相比，具有如下特点：
1、气敏传感器—由于传感器原理是基于物理变化的，因而没有相对运动部件，可以做到结构简单，微型化；
2、气敏传感器—灵敏度高，动态性能好，输出为电量；
3、气敏传感器—采用半导体为敏感材料容易实现传感器集成化，智能化；
4、气敏传感器—功耗低，安全可靠。同时，半导体传感器也存在以下一些缺点：
5、气敏传感器—线性范围窄，在精度要求高的场合应采用线性化补偿电路；
6、气敏传感器—与所有半导体元件一样，输出特性易受温度影响而漂移，所以应采用补偿措施；
7、气敏传感器—性能参数离散性大。
虽然存在上述问题，但半导体传感器仍是传感器发展的重要方向，尤其是大规模集成电路技术的不断发展，半导体传感器的技术也日臻完善。