涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
岛津制作所成功签署协议,将获得在欧洲地区从事涡轮分子泵服务业务的德国infraservVakuumserviceGmbH公司(以下称为IVG公司)的全部股权。本公司计划按规定办理完相关手续之后,于7月......