相较于探针式(Probe)电性量测，电子束检测具有两个显著优势，能在制作电子元件的过程中，快速反应制程问题：
(一)即时性。能够线上(in line)检测缺陷状况。
(二)预判性。无须制作电极(electrode pad)即可检出。
进一步说明，元件的良率及电性表现必须在整体元件制程完成后，才能以固定式探针设备量测得其结果，在分秒必争的半导体产业，电子束检测可以提前多道制程，既可知道元件缺陷状况，这是一个显著的时效优势，使得此技术被广泛的应用在电子产业上。
