离子探针质量显微分析仪主要包括四部分：
①能够产生加速和聚焦一次离子束的离子源；
②样品室和二次离子引出装置；
③能把二次离子按质荷比分离的质量分析器；
④二次离子检测和显示系统及计算机数据处理系统等。
应用：元素检测、能检测包括氢在内的、元素周期表上的全部元素，对不同的元素，检测灵敏度是不同的。它的绝对灵敏度为10-15～10-19 克，能检测相对含量为10-6～10-9 原子浓度的痕量杂质。因此，离子探针可以作金属的高纯分析、半导体痕量杂质测量和岩石矿物痕量成分鉴定等。表面和薄膜分析 离子探针作静态分析时，离子溅射是发生在样品表面少数原子层或吸附层上（5～20 埃）的，它是研究样品氧化，腐蚀、扩散和催化等表面物理化学过程，检测沉积薄膜、表面污染元素分布和晶体界面结构缺陷的理想工具。