关于离子探针质量显微分析仪的简介

　　离子探针质量显微分析仪（ion microprobemass analyzer）,以聚焦很细（1～2 微米）的高能（10～20 千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，简称离子探针。