1927年,徳布罗意发表的论文中揭示了电子这种本认为是带有电荷的物质粒子的波动特性。TEM研究组直到1932年才知道了这篇论文,随后,他们迅速的意识到了电子波的波长比光波波长小了若干数量级,理论上允许人们观察原子尺度的物质。1932年四月,鲁斯卡建议建造一种新的电子显微镜以直接观察插入显微镜的样品,而不是观察格点或者光圈的像。通过这个设备,人们成功的得到了铝片的衍射图像和正常图像,然而,其超过了光学显微镜的分辨率的特点仍然没有得到完全的证明。直到1933年,通过对棉纤维成像,才正式的证明了TEM的高分辨率。然而由于电子束会损害棉纤维,成像速度需要非常快。
1936年,西门子公司继续对电子显微镜进行研究,他们的研究目的使改进TEM的成像效果,尤其是对生物样品的成像。此时,电子显微镜已经由不同的研究组制造出来,如英国国家物理实验室制造的EM1设备。1939年,第一台商用的电子显微镜安装在了I. G Farben-Werke的物理系。由于西门子公司建立的新实验室在第二次世界大战中的一次空袭中被摧毁,同时两名研究人员丧生,电子显微镜的进一步研究工作被极大的阻碍。
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