近日,专攻原子力显微镜(AFM)探针研发的探真纳米科技(衢州)有限公司完成新一轮股权融资,获得衢州绿石新材料股权投资合伙企业(有限合伙)与杭州德甫股权投资有限责任公司共计超千万元的投资。
据悉,融资轮次为Pre-A / A 轮,资金将重点优化探针的批量化制备工艺,提升产品稳定性和良率。此外还将用于原子力显微镜(AFM)探针的全品类研发与新产线的布置。
据悉,探真纳米科技成立于2016年,位于浙江省衢州市,凭借其在微纳加工领域多年的技术与工艺积累,通过基于干法刻蚀的创新微纳加工工艺,实现了从晶圆起步的探针开发,在探针的曲率半径、深宽比和使用寿命等关键指标上已部分处于国际领先水平。今年年初,公司自主研发的AFM探针产品已实现上市销售。
原子力显微镜(AFM)是纳米科技、材料科学,半导体工业以及生命科学等诸多领域不可或缺的高精度检测仪器,在半导体制造中,AFM承担着“质量把关”的角色,通过纳米级别的探针对芯片进行精密扫描,判断工艺是否达标。AFM探针作为原子力显微镜的核心消耗部件,使用频率高且复购属性强,但长期以来依赖进口,价格高昂且供应受限,在科研和产业应用中逐渐成为成本与供应链风险的来源。
在半导体国产化和科研仪器自主可控背景下,AFM探针这一小体量、高附加值、高复购率的细分市场,正显现出明确的国产替代空间,其国产化进程还将带动相关配套产业链的发展。
公司创始人崔波教授,本科毕业于北京大学物理系,博士毕业于普林斯顿大学电子工程系,曾在加拿大滑铁卢大学担任教授多年,从事微纳加工领域研究近三十年的时间,近十余年持续专注于AFM探针的研发与产业化工作。2024年,崔波教授加入宁波东方理工大学,其课题组与公司在技术方向上保持深度协同,除了形貌检测探针之外,围绕导电探针、快速定位探针、金刚石探针、球形探针以及磁性探针等各种AFM探针持续进行技术攻关。
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